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《热加工工艺》2015年2月第44卷第3期

冶金法制备太阳能级多晶硅工艺技术研究

张济祥。朱勇，阳岸恒

(昆明贵金属研究所，云南昆明650106)

摘要：以纯度99％的工业硅为原料，通过造渣熔炼、电子束炉真空熔炼和定向凝固手段进行了太阳能级多晶硅制

备的研究。结果表明：通过造渣熔炼、电子束炉熔炼、两次定向凝固的工艺成功地将工业硅中的总杂质含量(质量分数)

降到了1ppm以下，其中B低于0．3ppm、P低于0．5ppm、总金属杂质含量TM低于0．2ppm、C浓度低于5~10

atoms／cm3．O浓度低于1．0~10”atoms／cm，产品达到太阳能级多晶硅标准。与国内外已公布的冶金法制备太阳能级多晶

硅工艺流程相比，本工艺未采用酸洗，清洁高效，没有任何污染。

关键词：工业硅；造渣；电子束熔炼；定向凝固

DOI：10．141580．cnki．1001-3814．2015．03．009

中图分类号：TF133；TF134文献标识码：A文章编号：1001，3814(2015)03．0031—03

StudyonTechnologyofSolarGradePolysiliconPreparedby

MetallurgicalMethod

ZHANGJixiang．ZHUYong．YANGAnheng

(KunmingInstituteofPreciousMetals，Kunrning650106，China)

Abstract：Thepreparationofsolargradepolysiliconusingindustrialsiliconwithapurityof99％wassutdiedbyslagging

melting，vacuumelectronbeammeltinganddirectionalsolidification，etc．Theresultsshowthatthetotalimpuriytcontentis

successfullyreducedtobelow1ppmwbyslaggingmelting，vacuumelectronbeammeltingandtwodirectionalsolidification，

amongwhichBisbelow0．3ppmw，Pisbelow0．5ppmw，TMisbelow0．2ppmw，Cisbelow5x10atoms／cm3andOis

below1．0xl0”atoms／cm3．htestandardofsolarrgadepolysiliconismeeted．ComparedwithpublishedprocessinChinaand

abroad，theaboveprocessdoesnotproducehtepollutionofpickling，whichismorecleanandefficient．

Keywords：industrialsilicon；slagging；elecrtonbeammelting；directionalsolidification

多晶硅是制备太阳能电池的原材料．是全球光(真空造渣、真空吹气)和定向凝固，湿法工艺包括粉

伏产业的基石。目前，世界上75％的多晶硅都是采碎、酸浸、离子交换去渣等工序。两种工艺路径在设

用西门子法工艺生产的，其关键技术主要掌握在美备投人、能耗指标、环保处理方面各有特点。在两大

国、日本、德国以及挪威等国家的几个主要生产厂商基本工艺思路的基础上，各公司在研发过程中各环

中，形成技术封锁和垄断。而冶金法是将工业硅在