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2026-01-05 发布于江西
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电加工与模具年第期

叶曳20244激光加工及增材制造

面向晶圆划刻的兆声辅助激光加工实验研究

111112

翟科王一帆杨子昊田恩宝薛寒杜立群

袁袁袁袁袁

渊1.河北大学质量技术监督学院河北保定袁071002曰

2.袁袁116024冤

大连理工大学机械工程学院高性能精密制造全国重点实验室辽宁大连

院袁

摘要针对晶圆划刻中激光加工易产生重铸层且得到的沟槽深宽比小等问题提出了兆声辅

助激光加工方法对激光烧蚀与兆声振动理论进行分析并利用响应面分析法对加工参数进行优

袁袁

化结果表明兆声波能够将烧蚀产生的液相材料和熔融碎屑击出烧蚀区从而减小重铸层面积

遥袁袁袁

改善晶圆的表面形貌附加兆声辅助后沟槽划刻后晶圆表面重铸层面积减小约烧蚀深宽比

曰袁25%袁

由增加到基于上述研究在晶圆表面划刻得到了形貌良好的网格结构证明此方法能有

2.653.82遥袁袁

效改善晶圆划刻的表面形貌减少重铸层的产生提高晶圆划刻的效率与精度

袁袁遥

关键词激光加工兆声振动响应面分析晶圆划刻

院曰曰曰

中图分类号院TG665文献标志码院A文章编号院1009原279X渊2024冤04原0050-05

ExperimentalStudyofMegasonicAssistedLaserProcessingforWaferScribing

111112

ZHAIKe袁WANGYifan袁YANGZihao袁TIANEnbao袁XUEHan袁DULiqun

渊1.CollegeofQualityandTechnicalSupervision袁HebeiUniversity袁Baoding071002袁China曰

2.StateKeyLaboratoryofHigh-performancePrecisionManufacturing袁SchoolofMechanical

Engineering袁DalianUniversityofTechno

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