第六章——磁执行器.pptVIP

第六章磁执行器;电磁式微执行器---基本概念;一般常见的磁性物体磁场密度是：

普通电冰箱的磁场为：100-1000Gs

地磁场（赤道附近）为：1Gs

磁存储介质为：100mT或100Gs

用于磁谐振成像的稀土磁体为：1-2T;电磁式微执行器---基本概念;通电线圈也能产生磁场，它可与磁铁或相隔一定距离的线圈产生的外磁场相互作用而产生机械力。

电磁力的优点在于其值可以很高，并且既可以吸引也可以排斥。

缺点是功耗一般较高，而且产生的磁场会对附近的物体产生一些影响，例如移动带电微粒或影响磁数据存储介质。;载流导线周围某点磁场强度

单圈线圈中心处磁场强度

单圈线圈对中心导磁体的作用力为;微磁元件的制造---磁性材料的沉积;图磁性材料电镀的工艺流程;图6.2三维微线圈的制造;微型磁强计;微型磁通门式磁强计;;德国于1995年研制的微型磁通门磁强计，利用CMOS工艺制作线圈。尺寸为1mm×1mm×1um，灵敏度为9.2mV/uT;日本于1994年研制的三维螺线管线圈，尺寸为4.9mm×1mm×4?m，灵敏度达到2700V/T，分辨率达到10-7T

;机械式微型磁强计;美国UCLA于1997年，在二氧化硅梁上支撑着一线圈，线圈通上交变电流，在Lorentz作用下梁发生振动，利用压敏电阻测量其振幅。分辨率为10-8T，Q为10。;表面工艺制作，叉指电极电容检测真空封装：0.76Torr，灵敏度：900000V/A?T;美国JPL于1996年研制，用于搭载在小卫星上，测量地球磁场。分辨率：2.8?T/Hz1/2，驱动电压：120V，尺寸：cm×1cm×0.6cm;微型磁强计的应用;“弯曲”线圈结构是平面内蜿蜒形导体，它与一个双层的磁芯交错在一起。;永磁体;电流流过U形导线时会在两条导线之间产生排斥力。类似地，在一条置于磁场中的柔性金属线上通以电流，导线会发生偏转。;磁致伸缩执行器;外加磁场导致坡莫合金区域产生磁性极化，这反过来又和外加磁场作用，结果导致执行器重新定位，直到它与磁场对准。该器件可用于斩波、扫描、光束导向等微光学场合。;铁镍合金;电磁光开关;电磁式微执行器实例(9)

;双稳态磁开关;双稳态磁开关结构:由扭转支柱将悬臂提升在衬底表面的上方。悬臂由顶部上的软铁磁材料和底部上的一层高电导率???金属构成。平面线圈埋置于悬臂的下方。偏置磁场有两个来源：一个是平面线圈，一个是永久磁体。永久磁体位于衬底的表面，用于提供恒定的背景磁场。

该开关的独特设计在于：双向磁化可以通过使用第二个磁场很快反转。这使得可以施加小电流来实现力矩和开关位置的转换。为了实现这一目标，在悬臂梁和外部磁场之间使用了平面线圈以产生磁场来补偿外部磁体产生的磁场。永久磁体使悬臂保持在开或关的位置直到下次开关动作出现。;结束