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配方用于芯片的研磨液
原料配比
原料
配比（质量份）
研磨粉
35
脱离子水
55
润滑剂
25
积压剂
10
非离子表面活性剂
15
防霉防腐剂
6
分散剂
15
螯合剂
15
光亮剂
4
悬浮稳定剂
10
制备方法
（1）将35份研磨粉和40份脱离子水放置到混合搅拌装置内进行混合，制得研磨剂A；研磨剂A的混合搅拌转速为200～250r/min，混合搅拌时间为1～1.5h。
（2）将15份脱离子水、25份润滑剂、10份积压剂、15份非离子表面活性剂、6份防霉防腐剂、15份分散剂、15份螯合剂、4份光亮剂、10份悬浮稳定剂投入混合搅拌装置内进行混合，制得研磨剂B；研磨剂B的混合搅拌
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