薄片细线化大尺寸太阳能级硅片用割液.docVIP

薄片细线化大尺寸太阳能级硅片用割液.doc

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配方薄片细线化大尺寸太阳能级硅片用割液

原料配比

原料

配比(质量份)

1#

2#

3#

4#

5#

6#

分散剂

聚氧乙烯醚的聚合度n为12的环己六醇聚氧乙烯醚

30

聚氧乙烯醚的聚合度n为16的环己六醇聚氧乙烯醚

39

聚氧乙烯醚的聚合度n为20的环己六醇聚氧乙烯醚

32.5

33

聚氧乙烯醚的聚合度n为25的环己六醇聚氧乙烯醚

37

聚氧乙烯醚的聚合度n为15的环己六醇聚氧乙烯醚

35

润湿剂

2,7一二炔一1,8一辛二醇聚氧乙烯聚氧丙烯基醚

10

14

10.5

8

14

9.5

稳定剂

乙二醇单己醚

9

乙二醇单辛醚

8.5

三乙二醇单己醚

10

10.5

11

二乙二醇单辛醚

12

纯水

加至100

加至100

加至100

加至100

加至100

加至100

制备方法将各组分原料混合均匀即可。

原料配伍

所述分散剂为聚氧乙烯醚的聚合度n为10~25之间的整数的环己六醇聚氧乙烯醚中的至少一种。

所述润湿剂为2,7一二炔一l,8一辛二醇聚氧乙烯聚氧丙烯基醚中的至少一种。聚氧乙烯醚的聚合度m为3~8之间的整数,聚氧丙烯基醚的聚合度p为0~6之间的整数。

所述分散剂中聚氧乙烯醚的聚合度n为18~22。

所述润湿剂中聚氧乙烯醚的聚合度m为4~6,聚氧丙烯基醚的聚合度n为3~5。

所述稳定剂为乙二醇单戊醚、乙二醇单己醚、乙二醇单辛醚、二乙二醇单戊醚、二乙二醇单己醚、三乙二醇单己醚中的一种或多种组合。

所述分散剂的制备方法如下:以环己六醇为起始醇,KOH为催化剂,通入环氧乙烷,保持0.1~0.4MPa压力进行反应,反应过程取样监测,测试分子量和聚合度达到要求后,制备得到分散剂。

所述润湿剂的制备方法如下:以2,7一二炔一1,8一辛二醇为起始醇,KOH为催化剂,通入环氧乙烷,保持0.1~0.4MPa压力进行反应,反应过程取样监测,测试分子量和聚合度达到要求后,制备得到润湿剂。

产品应用本品主要是一种薄片细线化大尺寸太阳能级硅片用切割液。

产品特性

(1)本品的切割液中所采用的分散剂为具有多枝化结构的聚醚化合物,多枝化结构能够提供更多的活性吸附位点,更好地吸附包裹硅粉嵌段聚醚,防止硅粉颗粒团聚和增大静电斥力,使切割液对硅粉的分散效率更高,进一步降低颗粒刮伤硅片和减少硅片粗糙度,更能适应硅粉浓度大幅增加的大尺寸、细线化、薄片化切割环境,硅粉分散效果更好。

(2)同时本品的分散剂本身具有非常优异的润滑性能,可以有效降低钢线的磨损,能更好的节约钢线的单刀使用量和降低切割过程的主辊扭矩,使切割后的硅片TTV值和线痕值均能维持在比较优异的低水平值。

(3)本品的润湿剂为结构对称的双挂型双炔基醇类聚醚化合物,双炔基可以提供更强的亲油基共轭碳链,同时碳链两端的聚氧乙烯聚氧丙烯嵌段结构能够提供亲水基结构,使其润湿性能较普通异构醇醚活性强,润湿效率更好,可以提供优异的动态和静态润湿性能,以保证金刚线表面润湿而减少金刚线断线率。

(4)本品所提供的切割液具有优异的分散、动态润湿和静态润湿、消泡性能,能够提升薄片细线化大尺寸太阳能级硅片的切割良率,有效解决了硅片大尺寸化、薄片化和金刚石线径细线化切割过程中遇到的硅粉分散困难、切割线缝难润湿、切割至胶面时润湿性能下降导致的崩边、亮边等问题,从而能够有效提高硅片的良品率,保持切割过程的稳定性。

(5)本品通过采用具有多枝化结构的分散剂和带有双炔基的润湿剂与稳定剂和纯水并结合科学合理的配伍组成切割液,利用多枝化结构提供更多的活性吸附位点,更好地吸附包裹硅粉,防止硅粉颗粒团聚和增大静电斥力,使切割液对硅粉的分散效率更高,进一步降低颗粒刮伤硅片和减少硅片粗糙度,硅粉分散效果更好;利用双炔基提供更强的亲油基共轭碳链、碳链两端的聚氧乙烯聚氧丙烯嵌段结构提供亲水基结构,使其润湿效率更好,可以提供优异的动态和静态润湿性能,以保证金刚线表面润湿而减少金刚线断线率。

参考文献中国专利公告CN-202210302673.7

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