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配方高导热率硅片用切割液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
聚乙二醇
70
80
75
氯化石蜡
4
8
6
甘油
6
10
8
硅酸钠
2
4
3
乙二酸二乙酯
1
2
1.5
乙炔炭黑
2
3
2.5
亚硝酸钠
1
4
2.5
单乙醇胺
0.4
0.8
0.6
三乙胺
0.4
0.6
0.5
分散剂
0.8
1.4
1.1
抗氧化剂
0.6
1
0.8
悬浮剂
0.8
1.2
1
抗冻剂
0.2
0.4
0.3
分散剂
甲基戊醇
1
1
1
聚丙烯酰胺
1
1
1
三聚磷酸钠
2
2
2
三乙基己基磷酸
4
4
4
悬浮剂
硅酸铝
2
2
2
羧甲基纤维素钠
1
1
1
干酪素
3
3
3
聚氧化乙烯
1
1
1
抗冻剂
水溶性酰胺
2
2
2
氯化钙
1
1
1
制备方法
（1）将聚乙二醇、氯化石蜡、甘油混合搅拌均匀后水浴加热静置一段时间，得混合液备用；
（2）将上述混合液加入硅酸钠、单乙醇胺、三乙胺、分散剂、抗氧化剂、悬浮剂和抗冻剂搅拌后于超声震荡仪中震荡均质，得均质液备用；水浴加热的温度为60～80℃，静置时间为30～40min。超声震荡仪中震荡均质的功率为200～300W，时间为15～20min。
（3）将上述均质液与乙二酸二乙酯、乙炔炭黑、亚硝酸钠混合搅拌后加入高压反应釜中，再将反应釜内通入超临界二氧化碳，保温保压静置一段时间后得本品高导热率硅片用切割液。超临界二氧化碳通入且保温保压静置的压强为16～18MPa，温度为80～90℃。
原料配伍
所述抗氧化剂为2，6-二叔丁基对甲酚、2，4-二甲基-6-叔丁基苯酚、N，N-二仲丁基对苯二胺中的任意一种。
所述悬浮剂为硅酸铝、羧甲基纤维素钠、干酪素和聚氧化乙烯质量比2∶1∶3∶1的混合物。
所述抗冻剂为水溶性酰胺和氯化钙质量比2∶1的混合物。
产品应用本品主要是一种高导热率硅片用切割液。
产品特性
（1）本品采用聚乙二醇、氯化石蜡、甘油为切割液的主要材料，能有效保证产品的润滑性能，并且添加硅酸钠、乙炔炭黑、单乙醇胺等物质，增强了产品的导热率，使切割液在使用过程中能有效传导分散热量，降低切割时产生的热量对硅片及设备的损耗，提升生产的经济效益。
（2）本品采用超声震荡均质的方式混合各物质，能有效均匀分散各成分，并且采用通入超临界二氧化碳进行高温高压处理，有效提升各物质的溶解性，同时增强所得产品的稳定性，提升产品的使用效果。
参考文献中国专利公告CN－201910054795.7
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