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配方精密抛光研磨液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
复合硅抛光粉
质量分数为30%硅溶胶
10
13
15
硝酸钴
0.1
0.15
0.2
去离子水
60（体积）
75（体积）
90（体积）
硝酸铈
21
26.5
31.5
六亚甲基四胺
34
37
51
去离子水
300（体积）
375（体积）
450（体积）
十二烷基苯磺酸钠
2
2
3
聚乙烯吡咯烷酮
2
2
3
乙醇溶液
质量分数为10%乙醇溶液
100
—
—
质量分数为15%乙醇溶液
—
125
—
质量分数为20%乙醇溶液
—
—
150
次氯酸钠溶液
质量分数为5%次氯酸钠溶液
150
—
—
质量
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