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水基研磨液清洗剂.doc

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    配方水基研磨液清洗剂

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    氢氧化钠

    13

    26

    39

    柠檬酸钠

    3

    6

    9

    三乙醇胺

    1

    2

    3

    羧甲基纤维素

    5

    7

    9

    偏硅酸钠

    32

    40

    48

    三聚磷酸钠

    10

    11

    12

    复合表面活性剂

    15

    19

    23

    波士顿蕨提取液

    3

    3.86

    4.74

    有机硅消泡剂

    1

    2

    3

    去离子水

    70

    80

    90

    制备方法

    （1）称取原料氢氧化钠、柠檬酸钠、三乙醇胺和去离子水，于搅拌器中充分混合后，备用；

    （2）称取羧甲基纤维素、偏硅酸钠、三聚磷酸钠、复合表面活性剂和有机硅消泡剂，并将其依次添加到（1）的搅拌器中，搅拌15～20分钟后，即得水

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