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集成微腔中的激光技术研究文献综述

作为形成激光的三大必要条件之一，光学微腔在低阈值激光器上有重大研究进展。尤其是近几年火热的钙钛矿材料，它在光电应用上表现出诸多优异特性，例如单晶缺陷密度低[120,121]、吸收系数高[122]、载流子扩散距离长[123]以及波长可调谐等。利用简单的溶液法即可完成对钙钛矿单晶的生长，由于材料本身具有增益特性且晶体的形状构成了简易的光学谐振腔，使得钙钛矿成为研究微纳激光器的重要对象。

钙钛矿单晶可以自主形成多种不同形状的腔体，最常见的有方形片状、纳米线、微米线、微球等。2015年首都师范大学Fu课题组利用一步溶液法合成出大量的方形钙钛矿单晶[124]，该形状的腔体容易形成四次反射的WGM激光。同一时期，哥伦比亚大学Zhu等人利用溶液法合成出高质量的钙钛矿纳米线[125]，在飞秒激光的泵浦下，线状腔体内形成FP模式激光出射。由于纳米线单晶质量高，出射激光的阈值低达220nJ/cm2，Q值达到3600。2016年湖南大学Pan团队采用气相沉积的办法，制备出截面呈三角形的纳米线[126]。改变沉积前的反应物种类，可以实现415-673nm的激光出射。2017年哈尔滨工业大学Song团队利用溶液法制备出纯无机钙钛矿微米线，由于微米线的腔体结构特殊，既能形成沿长轴方向谐振的FP模式激光，又能在某一截面处形成面内的WGM激光，改变飞秒激光泵浦的位置，可以实现两种不同模式的激光出射[127]。因为晶体缺陷密度低且截面内的WGM损耗小，测量到该模式激光的Q值高达7000。

图111钙钛矿微球腔出射激光[128]

Figure111Thelaseremittedfromperovskitemicrospheres[128]

a,c)两个微球的辐射激光光谱

a,c)Laserspectraemittedfromtwomicrospheres

b,d)对应的数值仿真场分布

b,d)Thecorrespondingnumericalsimulationsoffielddistributions

2020年中科院研究人员采用化学气相沉积的办法制备出无机钙钛矿微球[128]，微球的直径从500nm到2μm不等。科研人员利用微纳操作将两个不同尺寸的微球转移到一起，间距约30nm。当同时泵浦两个微球并出射激光时，两者发生耦合存在游标效应，可以实现线偏振、单纵模激光出射，如图1-11所示。

图112大规模阵列钙钛矿微纳激光器的制备[131]

Figure112Fabricationoflarge-scalearraysofperovskitemicrolasers[131]

阵列排布的集成微腔在激光显示上具有重大应用价值。2016年首都师范大学Fu课题组提出用溶液限制生长法一次性大批量合成出钙钛矿单晶阵列[129]。首先制备一个硅基的圆柱阵列作为微纳模具，将聚二甲基硅氧烷悬涂在上表面，加热使其凝固后得到一个圆孔阵列模板，将模板压在涂有钙钛矿溶液的基底上，限制在圆孔阵列中的钙钛矿溶液最终成核结晶形成钙钛矿单晶阵列。通过改变溶液中卤族元素，该办法实现了426nm-527nm的阵列激光出射。同年，南洋理工大学研究人员提出在二氧化硅基底上转移一层六方氮化硼薄膜[130]，对薄膜进行光刻和刻蚀，得到设计好的图形阵列，再利用物理气相沉积的工艺在其上生长钙钛矿单晶。阵列排布的氮化硼能够帮助钙钛矿单晶成核并且起到覆盖层的作用。改变氮化硼基本单元的大小可以控制钙钛矿晶体的尺寸，最终可以实现波长可调谐的阵列激光出射。2019年俄罗斯研究人员提出在钙钛矿薄膜上，利用圆形激光光束直写，精确制备出钙钛矿微纳激光器阵列[131]，如图1-12所示。相对传统的溶液法合成，该方法能精确控制微腔的尺寸，实现高速、大批量、重复性高的微纳制备。

为了将钙钛矿微腔出射的激光应用到光子集成回路，科研人员做了一系列研究。考虑光纤是光通信系统中应用最广泛的传输媒介，将钙钛矿微腔出射的激光和光纤高效率的耦合必将推进其进一步发展。2016年哈尔滨工业大学Song课题组提出微纳转移的办法，将钙钛矿纳米线转移至单模拉锥光纤上[132]。纳米线经泵浦出射激光，可以高效的耦合进光纤。为了和传统方法对比，科研人员用一个40倍数值孔径为0.6的物镜从上方采集光谱，实验结果表明从光纤两端采集到的光谱强度比物镜采集高一个数量级，显示出该方法的优越性。同年，该课题组优化了钙钛矿单晶生长工艺，能够生长出片状和线状相连的混合体[133]。通过泵浦片状单晶，钙钛矿出射的激光能从侧面线状单晶传输至末端。然而，可控且稳定生长是该方法面临的最主要挑战。

2017年德国科研人员利用氮化硅在可见光波段吸收低，实现与