高过载下MEMS环形陀螺的响应建模与失效分析.pdfVIP

第33卷第10期中国惯性技术学报

2025年10月JournalofChineseInertialTechnologyOct.2025

文章编号：1005-6734(2025)10-1034-09doi.10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2025.10.010

高过载下MEMS环形陀螺的响应建模与失效分析

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魏雯强，王瑾，蔡麒，田慧敏，黄泓侨，曹慧亮

（1.中北大学仪器与电子学院，太原030051；

2.北京理工大学集成电路与电子学院，北京100081）

摘要：针对一种MEMS环形陀螺在高过载下出现冲击失效现象，对其进行了结构动力学响应建模与

失效机理分析。基于准静态、振动和弹性波理论建立了陀螺结构对环境冲击的动力学响应模型。在所

建立的MEMS环形陀螺动力学冲击响应模型基础上，分析了MEMS环形陀螺的吸合和断裂失效机

理，推导得到发生吸合失效发生时的平衡位移和断裂失效发生时的敏感位置，并获得了失效发生时的

冲击表达式。通过高过载实验获得了MEMS环形陀螺临界失效时所加载的冲击幅值和脉宽。利用拉

曼光谱仪对高过载作用后的MEMS环形陀螺的表面应力进行测试，应力敏感位置与理论推导一致。

关键词：MEMS环形陀螺；高过载；动力学响应；失效机理；冲击实验

中图分类号：V249.3文献标志码：A

ResponsemodelingandfailureanalysisofMEMSringgyroscopes

underhighoverload

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WEIWenqiang,WANGJin,CAIQi,TIANHuimin,HUANGHongqiao,CAOHuiliang

(1.SchoolofInstrumentandElectronics,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051,China;

2.SchoolofIntegratedCircuitsandElectronics,BeijingInstituteofTechnology,Beijing100081,China)

Abstract:Regardingtheshockfailureofamicro-electro-mechanicalsystem(MEMS)vibratingring

gyroscope(VRG)underhighoverload,structuraldynamicresponsemodelingandfailuremechanismanalysis

areconducted.Basedonvibrationandelasticwavetheories,adynamicresponsemodelofgyroscopic

structurestohigh-gshocksisestablished.Basedontheestablisheddynamicimpactresponsemodelof