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·62·《测控技术~2016年第35卷第2期

单轴音圈电机在磁悬浮系统中的应用研究

许贤泽，许志雄，田震，李卓，姚彤彤

(武汉大学电子信息学院，湖北武汉430072)

摘要：提出了一种针对单自由度音圈电机的控制方法，以实现音圈电机在竖直方向上的快速响应以及精

确控制。通过实验测量的方式，获得音圈电机在竖直方向上的受力一位置的关系，并将其应用于该控制

系统中。基于该受力一位置关系，在控制系统中设计了反馈线性化单元和PID控制单元。最后通过一

套自行设计的实验装置验证了所提出的控制方案的可行性，实验结果表明，该系统的静态误差小于1

Ixm，阶跃响应速度小于50ms，轨迹跟踪的最大误差小于20txm且最大延迟时间小于5ms。

关键词：磁悬浮平台；音圈电机；反馈线性化；PID控制器

中图分类号：TM359．4文献标识码：A文章编号：1000—8829(2016)02—0062—05

ApplicationStudyonSingleVoiceCoilMotorinMagneticLevitationSystem

XUXian-ze，XUZhi—xiong，TIANZhen，LIZhuo，YAOTong-tong

(SchoolofElectronicInformation，WuhanUniversity，Wuhan430072，China)

Abstract：Acontrolmethodforasingledegreeoffreedomvoicecoilmotorthatcanachiveprecisecontroland

rapidresponseintheverticaldirectionisproposed．Therelationshipofforce—airgapwhichisappliedtothissys—

ternisacquiredthroughmeasurement．Basedontherelationshipofforce—airgap，~edbacklinearizationunitand

PIDcontrollerforthissystemaredesigned．Atlast，thepossibilityoftheproposedcontrolmethodisverifiedby

asetofself-designedexperimentdevice．Experientalresultsshowthatthestaticerrorislessthanlm，theve—

locityofstepresponseislessthan50ms，themaximumerroroftrajectorytrackingislessthan20txmandthe

maximumdelayislessthan5ms．

Keywords：magneticlevitationplaftorm；voicecoilmotor；feedbacklinearization；PIDcontroller

现代信息产业与高精度制作领域，如集成电路圈电机来说，电机输出磁力大小是其重要的评价指标。

(IC)制造、隧道显微镜探头驱动和光学非球面曲面加设计时，常常通过等效磁路法，获得音圈电机的次级受

工等高精度应用场合，对定位平台的运行精度提出了力J。等效磁路法忽略导磁材料的铁损以及边界效

越来越严格的要求I4』。磁悬浮平台技术因其精度应，可以方便地解算电机中的气隙磁场大小，对于估算

高、响应频率高、结构紧凑等特点，广泛应用于类似场电机磁力大小是适用的。然而，在磁悬浮系统中，系统

合5j。高精度磁悬浮平台在竖直方向上的支撑力，模型的准确性，将直接影响平台的定位精度，因此

往往是通过音圈电机提供的J。音圈电机在竖直方等效磁路法无法满足要求。

向上的控制精度，能够直接影响磁悬浮平台的运行效对于