传感器应用技术-力敏传感器.pptxVIP

传感器应用技术

目录CONTNETS1初识传感器2温度传感器3湿度传感器4力敏传感器5光敏传感器

目录CONTNETS6气敏传感器7磁敏传感器8超声波传感器9无线传感器网络

项目四力敏传感器

01认识力敏传感器

一、力和压力的概念?

二、力敏传感器的概念与特性力敏传感器具有结构简单、响应速度快、高精度、高分辨率、高可靠性，可实现非接触测量等一系列优点，可广泛用于直接对力（压力）、重量或间接用于对液位、振动、流量、速度等测量系统中。（二）力敏传感器的特性力敏传感器，又称压力传感器，顾名思义，就是将力或压力的变化转换成应变或位移，最后转换成电信号的一类传感器。力敏传感器工作时，首先利用弹性元件把被测量（如力、压力、力矩、振动等）转换成应变或位移，然后再通过传感器把应变或位移转换成相应参量的变化，从而实现对非电量的测量。由此可见，力敏传感器的基本组成包括弹性元件和变换电路两大部分。（一）力敏传感器的概念与组成

三、力敏传感器的分类与工作原理（一）力敏传感器的分类力敏传感器的分类方法很多，根据内部结构的不同，可分为机械式压力传感器和半导体式压力传感器两大类。根据力—电转换原理的不同，可分为电阻式力敏传感器、压阻式力敏传感器、电感式力敏传感器、电容式力敏传感器、压电式力敏传感器、谐振式力敏传感器等。其中，电阻式压力传感器广泛应用在家用电子产品中，如电子秤，其他力敏传感器多用在工业控制系统中。

三、力敏传感器的分类与工作原理（二）力敏传感器的工作原理1.电阻式压力传感器4.压电式压力传感器3.电感式压力传感器2.电容式压力传感器电阻式压力传感器是通过弹性敏感元件将外部的应力转换成应变ε，再根据电阻应变效应，由电阻应变片将应变转换成电阻值的微小变化，通过测量电桥转换成电压或电流的输出。压电式压力传感器是以压电效应为基础，将力学量转换为电量的器件。电感式压力传感器是利用电感线圈电感量变化来测量压力的传感器，常见的电感式压力传感器有气隙式和差动变压器式两种。电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件，将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。

三、力敏传感器的分类与工作原理（二）力敏传感器的工作原理8.陶瓷压力传感器7.蓝宝石压力传感器6.扩散硅压力传感器5.谐振式压力传感器谐振式压力传感器是利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面，主要有振弦式压力传感器、振筒式压力传感器、振膜式压力传感器和石英晶体谐振式压力传感器。陶瓷压力传感器是基于压阻效应，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥，由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号。蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理，采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件，具有无与伦比的计量特性。扩散硅压力传感器的工作原理是利用压阻效应原理，被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移。

02常见力敏传感器及应用

一、电阻应变式力传感器（一）应变效应金属导体的电阻值随着它受力所产生机械变形（拉伸或压缩）的程度而发生变化的现象称为金属的应变效应。设有一根如图4-3所示长度为l、截面积为A、电阻率为ρ的金属丝，在未受力时，其电阻R为当受外力作用时，长度将伸长，横截面积相应减小，电阻率增加，对应的电阻也将发生变化，即（二）电阻应变式力传感器的分类电阻应变式力传感器是将被测量的变化转化为传感器电阻值的变化，再经测量电路转换成电信号的一种传感器。电阻应变式力传感器包括金属应变片压力传感器和压阻式压力传感器两大类。

一、电阻应变式力传感器（三）电阻应变式力传感器的结构1.金属应变片金属应变片主要是基于金属的应变效应。金属应变片有丝式和箔式等结构形式。（1）金属丝应变片。金属丝应变片由敏感栅、基底、盖片、引线和黏结剂等组成，结构如图4-4所示。（2）金属箔式应变片。金属箔式应变片的工作原理与电阻丝式应变片基本相同。其不同之处在于它的电阻敏感元件不是金属丝栅，而是通过光刻、腐蚀等工序制成的薄金属箔栅，故称为箔式电阻应变片，其内部结构如图4-5所示。金属箔的厚度一般为0.003～0.010mm，它的基片和盖片多为胶质膜，基片厚度一般为0.03～0.05mm。

一、电阻应变式力传感器2.半导体应变片半导体应变片主要是利用半导体材料（如单晶硅材料等）的压阻效应制作而成的一种电阻性元件，其内部结构如图4-6所示。所谓压阻效应，是指在半导体单晶硅材料的某一方向上施加一定外力后，半导体材料的电阻率将会发生剧烈变化，进而使得半导体材料的电阻也发生剧烈变化的现象。半导体应变片