CN108602844B 金属组合物及其制备方法 (普拉奥有限责任公司).docxVIP

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CN108602844B 金属组合物及其制备方法 (普拉奥有限责任公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN108602844B(45)授权公告日2025.01.10

(21)申请号201580084943.X

(22)申请日2015.09.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108602844A

(43)申请公布日2018.09.28

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2018.05.29

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2015/0528752015.09.29

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2017/058160EN2017.04.06

(73)专利权人普拉奥有限责任公司地址美国马萨诸塞州

(72)发明人S.迪罗克J.J.施瓦布

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001

专利代理师麦振声周李军

(51)Int.CI.

CO7F15/00(2006.01)

(56)对比文件

US2008045682US2012184103WO2006065660US2011184139

A1,2008.02.21A1,2012.07.19A2,2006.06.22A1,2011.07.28

审查员马进

权利要求书3页说明书20页附图4页

(54)发明名称

金属组合物及其制备方法

(57)摘要

CN108602844B本公开涉及一种通过用酸化去离子水减少产率杂质来形成精制含金属单元的方法。另一个实施方案为一种包含精制含金属单元的组合物。另一个实施方案为一种如下形成图形化基底的方法:在基底上沉积包含精制含金属单元的组合物,干燥包含精制含金属单元的薄膜,使包含精制含金属组合物的薄膜曝露于光化辐射源,并使图形转移到基底。本公开的实施方案可用于通过

CN108602844B

CN108602844B权利要求书1/3页

2

1.一种形成精制含金属单元(RMU)的方法,所述方法包括:

a.提供含金属单元(MU)其中MU由结构I表示:

MABCy

结构I

其中M包括具有0-7形式价的金属,并包括至少一种选自Zr、Hf、Ge、Ti、Nb、Pb、Gd、Sn、Ce、Eu、In、Nd、Sb、Ga、Se、Cd、Ta、Co、Pt、Au、W、V、T1、Te、Sr、Sm、La、Er、Pd、In、Ba、As和Y的金属;配位体A包含能够进行化合反应的反应性官能基;w为0至7;配位体B和C单独或组合选自:氧、氮、硫或卤素原子;羟基、过氧、磷酸根、硼酸根、钨酸根、硫酸根、硅酸根;经取代或未取代的直链、支链或环状烷基、烷基醚、烷基酯、硫烷基、烯基或炔基;经取代或未取代芳基;和-XR1,其中X表示选自氧基、硫基、羧基、硫代羧基、磺基、草酸根、乙酰丙酮根、碳阴离子、羰基、硫代羰基、氰基、硝基、亚硝酸基、硝酸根、亚硝酰、叠氮、氰氧基、异氰氧基、硫氰氧基、异硫氰氧基、酰胺基、胺、二胺、胂、联胂、膦和二膦的有机官能基,且R1表示氢原子、经取代或未取代的直链、支链或环状烷基或硫烷基、杂环基、脂环基和经取代或未取代芳基或杂芳基;x和y为0至7,且w+x+y为2-7;并使MU溶于有机溶剂,MU以基于MU和有机溶剂总重量约5%重量至约70%重量存在,以形成MU溶液,

b.通过将酸加到去离子水提供2至6.5pH的去离子水酸化溶液,所述酸选自丙烯酸和丙烯酸2-羧乙酯,和

c.使MU溶液与去离子水的酸化溶液混合,和

d.分离RMU,

其中分离的RMU包含产率杂质,且分离的RMU中各产率杂质的量基于RMU总重量低于5000ppb,

其中所述含金属单元包括至少一种选自(甲基)丙烯酸锆、丙烯酸羧乙酯锆、(甲基)丙烯酸铪、丙烯酸羧乙酯铪、(甲基)丙烯酸钛、丙烯酸羧乙酯钛、(甲基)丙烯酸钽、丙烯酸羧乙酯钽、(甲基)丙烯酸铌和丙烯酸羧乙酯铌的成员。

2.权利要求1的方法,其中使MU溶于水混溶性有机溶剂,并在步骤d期间沉淀RMU。

3.权利要求2的方法,其中所述水混溶性溶剂单独或组合选自甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、叔丁醇、1-甲氧基-2-丙醇、2-丙氧基乙醇、2-丁氧基乙醇、2-乙氧基乙醚、2-丁氧基乙醚、二甲亚砜、γ-丁内酯、乙腈、乳酸乙酯、N-甲基吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、四氢糠醇、四氢呋喃和丙酮。

4.权利要求1的方法,其中所述有机溶剂为水不混溶性溶剂,该方法进一步包括:

f.在权利要求1的步骤d后将去离子水的酸化溶液与MU溶液分离到不同层中,

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