CN107249720B 液体的纯化方法、药液或清洗液的制造方法、过滤介质及过滤装置 （东京应化工业株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107249720B(45)授权公告日2025.01.10

(21)申请号201680011538.X

(22)申请日2016.02.22

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN107249720A

(43)申请公布日2017.10.13

(30)优先权数据

2015-0334252015.02.23JP2016-0191762016.02.03JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2017.08.22

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2016/0550792016.02.22

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2016/136673JA2016.09.01

(73)专利权人东京应化工业株式会社地址日本神奈川县

(72)发明人高鳴勇人中岛孝雄菅原司

越山淳

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

11256

专利代理师杨宏军

(51)Int.CI.

B01D71/64(2006.01)

B01D69/00(2006.01)

(56)对比文件

CN1911494A,2007.02.14

WO2014175011A1,2014.10.30CN101948569A,2011.01.19

CN101785977A,2010.07.28

CN101678286A,2010.03.24

CN103111195A,2013.05.22

CN1958736A,2007.05.09

审查员王东升

权利要求书1页说明书26页

(54)发明名称

液体的纯化方法、药液或清洗液的制造方法、过滤介质及过滤装置

(57)摘要

CN107249720B本发明提供使用了聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的液体的纯化方法、使用了该纯化方法的药液或清洗液的制造方法、由该多孔质膜形成的过滤介质以及包含该多孔质膜的过滤装置，所述聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜对金属等杂质的除去性能优异，优选还可同时实现优异的流速，而且应力、断裂伸长率等也优异。本发明涉及一种液体的纯化方法，所述液体的纯化方法包括下述步骤：利用差压使所述液体的一

CN107249720B

CN107249720B权利要求书1/1页

2

1.液体的纯化方法，所述液体的纯化方法包括下述步骤：

利用差压使所述液体的一部分或全部从具有连通孔的聚酰亚胺多孔质膜的一侧向另一侧透过；

其中，所述聚酰亚胺多孔质膜是进行了由酰亚胺键的一部分形成羧基及/或盐型羧基的工序后的聚酰亚胺多孔质膜，其酰亚胺化率为1.2以上且小于1.5,所述酰亚胺化率为由将利用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)装置测得的表示酰亚胺键的峰的面积除以同样利用FT-IR装置测得的表示苯的峰的面积而得的值表示的值，其中，用于制成所述多孔质膜的清漆包含聚酰胺酸的情况下，视为在烧成工序中已实质上完成酰亚胺化反应，

所述连通孔包含平均球径为50～2000nm的近球状孔相互连通而成的结构，

利用所述多孔质膜，将所述液体中含有的包含在常温下为固体的元素的杂质的一部分或全部从所述液体中除去，

所述元素为选自由金属元素及半金属元素组成的组中的至少1种，

所述金属元素为选自由碱金属、碱土金属、属于元素周期表的3～11族的过渡金属、以及属于元素周期表的12～15族的金属组成的组中的至少1者，所述碱金属为Li或K。

2.如权利要求1所述的液体的纯化方法，其中，所述差压是利用选自由液流压、真空、及基于非活性气体或非反应性气体的正压组成的组中的至少1种而施加的。

3.如权利要求1或2所述的液体的纯化方法，其中，所述连通孔包含孔径为1～200nm的连通孔。

4.如权利要求1或2所述的液体的纯化方法，其中，所述近球状孔在内表面还具有凹部。

5.如权利要求1或2所述的液体的纯化方法，其中，所述液体为半导体制造中使用的药液或清洗液。

6.药液或清洗液的制造方法，其使用权利要求1～5中任一项所述的液体的纯化方法。

7.过滤介质，其是由权利要求1～5中任一项所述的液体的纯化方法中使用的所述聚酰亚胺多孔质膜形成的。

8.过滤装置，其包含权利要求1～5中任一项所述的液体的纯化方法中使用的所述聚酰亚胺多孔质膜。

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