CN109148329B 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN109148329B(45)授权公告日2025.07.15

(21)申请号201810632233.1

(22)申请日2018.06.19

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN109148329A

(43)申请公布日2019.01.04

(30)优先权数据

(51)Int.CI.

H01L21/67(2006.01)

GO3F7/20(2006.01)

(56)对比文件

CN109148329A,2019.01.04审查员韩雪

2017-1188072017.06.16JP

(73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

(72)发明人中野征二

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇

权利要求书2页说明书12页附图15页

(54)发明名称

基板处理装置、基板处理方法以及存储介质

(57)摘要

CN109148329B本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法以及存储介质。该基板处理装置具备：第一加载端口(2A、2B)和第二加载端口(2C、2D),所述第一加载端口(2A、2B)和第二加载端口(2C、2D)以分别载置用于容纳基板的搬送容器的方式分别设置于左右方向上的一侧和另一侧；处理部(D2),其对基板进行处理；检查组件(4),其用于对处理部(D2)处理前或处理后的基板进行检查；以及基板搬送机构，其用于向处理部(D2)、载置

CN109148329B

CN109148329B权利要求书1/2页

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1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：

第一加载端口和第二加载端口，所述第一加载端口和第二加载端口以分别载置用于容纳基板的搬送容器的方式分别设置于左右方向上的一侧和另一侧；

处理部，其对所述基板进行处理；

检查组件，其用于对所述处理部处理前或处理后的所述基板进行检查；以及

基板搬送机构，其用于向所述处理部、载置于加载端口的搬送容器以及所述检查组件交接所述基板，

其中，所述检查组件在左右方向上设置于所述第一加载端口与所述第二加载端口之

间，

所述基板搬送机构具备：

第一基板搬送机构，其设置于所述检查组件的左右方向上的一侧，用于向所述处理部和载置于所述第一加载端口的搬送容器分别交接所述基板；以及

第二基板搬送机构，其设置于所述检查组件的左右方向上的另一侧，用于向所述检查组件和载置于所述第二加载端口的搬送容器分别交接基板。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置还具备：用于容纳基板的所述搬送容器，

所述基板搬送机构还具备：交接部，其用于在所述第一基板搬送机构与所述第二基板搬送机构之间交接所述基板。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述第一加载端口、所述第二加载端口以及所述检查组件设置为在左右方向上成一行。

4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述第一加载端口和第二加载端口中的至少一方由多个加载端口构成，

所述多个加载端口包括在上下方向上分别设置的上侧的加载端口和下侧的加载端口。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

所述上侧的加载端口具备旋转门，所述旋转门绕沿着前后方向的旋转轴进行旋转，由此对基板的搬送口进行开闭。

6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述检查组件兼作所述交接部。

7.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述交接部兼作待机部，该待机部用于载置基板以在向所述检查组件搬入所述基板之前使该基板待机。

8.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述基板处理装置设置有控制部，所述控制部输出控制信号，以使得：

所述第一基板搬送机构和第二基板搬送机构中的一方只进行来自所述搬送容器的基板的接受和向所述搬送容器的基板的搬送中的、来自所述搬送容器的基板的接受；以及

所述第一基板搬送机构和第二基板搬送机构中的另一方只进行来自所述搬送容器的基板的接受和向所述搬送容器的基板的搬送中的、向所述搬送容器的基板的搬送。

9.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

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