原创力文档用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
浓度为40%，粒径20~25nm的纳米SiO2溶胶
90
－
30
－
－
浓度为50%，粒径25~30nm的纳米SiO2溶胶
－
70
－
－
－
浓度为40%，粒径30~35nm的纳米SiO2溶胶
－
－
－
10
－
浓度为50%，粒径35~40nm的纳米SiO2溶胶
－
－
－
－
20
无机碱和有机碱
三乙醇胺
0.5
－
5
8
－
四羟乙基乙二胺
－
4
－
－
9
NaOH
－
1
0.5
2
－
非离子表面活性剂
FA/OI
0.5
1
5
8
10
KOH
0.5
－
－
文档评论（0）