化学机械抛光液26.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

研

磨

颗

粒

SiO2(70nm)

2

－

－

－

－

－

1

－

－

Al2O3(30nm)

－

1

－

－

－

－

－

－

－

CeO2(20nm)

－

－

3

－

－

－

－

－

－

聚乙烯（Mn:20000）(100nm)

－

－

－

5

－

－

－

－

－

聚四氟乙烯（Mn:40000）

－

－

－

－

5

－

－

－

－

SiO2(200nm)

－

－

－

－

－

3

－

－

－

SiO2(80nm)

－

－

－

－

－

－

－

2

0.05

有

机

酸

乙基磺酸

2

－

－

－

－

－

－

－

－

氨基三亚甲基膦酸

－

0.01

－

－

－

－

－

－

－

2-羟基膦酰基乙酸

－

－

0.05

－

－

－

－

－

－

多氨基多醚基四亚甲基膦酸

－

－

－

0.1

－

－

－

－

－

乙二胺四甲基膦酸

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

二亚乙基三胺五亚甲基膦酸

－

－

－

－

－

1

－

－

－

甲基磺酸

－

－

－

－

－

－

1.5

－

－

多元醇膦酸酯

―

－

－

－

－

－

－

1.2

－

甘氨酸

－

―

－

－

－

－

－

－

0.8

氧

化

剂

过氧化氢

5

－

―

－

－

－

0.1

－

－

过氧化氢脲

－

10

－

―

－

－

－

0.2

－

过氧乙酸

－

－

0.01

－

―

－

－

－

0.5

过氧化苯甲酰

－

－

－

0.1

－

―

－

－

－

过硫酸钾

－

－

－

－

0.05

－

－

－

－

过硫酸铵

－

－

－

－

－

0.08

－

－

－

核

酸

类

化

合

物

腺嘌呤

0.3

－

－

－

－

0.1

－

－

－

鸟嘌呤

－

0.01

－

－

－

－

0.2

－

－

胞嘧啶

－

－

1

－

－

－

－

0.5

－

胸腺嘧啶

－

－

－

0.02

－

－

－

－

0.8

尿嘧啶

－

－

－

－

0.08

－

－

－

－

其

他

苯并三氮唑

－

0.05

－

－

－

－

－

－

－

5-氨基-四氮唑

－

－

0.05

－

－

－

－

－

－

5-甲基-四氮唑

－

－

－

0.05

－

－

－

－

－

5-苯基-1-氢-四氮唑

－

－

－

－

0.05

－

－

－

－

1-氢-四氮唑

－

－

－

－

－

0.05

－

－

－

乙二胺四甲叉膦酸

－

－

－

－

－

－

0.01

－

－

去离子水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

10#

11#

12#

13#

14#

15#

16#

17#

18#

研磨颗粒

SiO2(80nm)

2.5

3.5

4.5

4

0.1

0.2

0.5

0.8

1.2

有

机

酸

丙氨酸

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

亮氨酸

－

0.05

－

－

－

－

－

－

－

异亮氨酸

－

－

0.02

－

－

－

－

－

－

缬氨酸

－

－

－

5

－

－

－

－

－

胱氨酸

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

半胱氨酸

－

－

－

－

－

0.2

－

－

－

甲硫氨酸

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

苏氨酸

－

－

－

－

－

－

－

0.8

－

丝氨酸

－

－

－

－

－

－

－

－

1

氧

化

剂

过氧化氢

－

－

－

1.8

－

－

－

－

－

过氧化氢脲

－

－

－

－

2

－

－

－

－

过氧乙酸

－

－

－

－

－

3

－

－

－

过氧化苯甲酰

0.8

－

－

－

－

－

4

－

－

过硫酸钾

－

1.2

－

－

－

－

－

5

－

过硫酸铵

－

－

－

－

－

－

－

－

6

核

酸

类

化

合

物

腺嘌呤

－

0.5

－

－

－

－

0.5

－

－

鸟嘌呤

－

－

0.5

－

－

－

－

0.5

－

胞嘧啶

－

－

－

0.5

－

－

－

－

0.5

胸腺嘧啶

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

尿嘧啶

5

－

－

－

－

0.5

－

－

－

其他

异噻唑啉酮

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

去离子水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

19#

20#

21#

22#

23#

24#

25#

26#

研磨颗粒

SiO2(80nm)

2.2

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(70nm)

－

2

2

2

2

2

2

2

有

机

酸

苯丙氨酸

1

－

－

－

－

－

－

－

二甲基磺酸

－

1.5

－

－

－

－

－

－

色氨酸

－

－

1.2

－

－

－

－

－

脯氨酸

－

－

－

1.8

－

－

－

－

羟脯氨酸

－

－

－

－

1

－

－

－

谷氨酸

－

－

－

－

－

1

－

－

天门冬氨酸

－

－

－