蓝宝石衬底抛光液.doc

蓝宝石衬底抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

乙二醇

185.7

多晶微粉

1

制备方法对乙二醇有机溶剂边搅拌边加入金刚石多晶体，并进行充分摇匀。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：乙二醇160~190、多晶微粉1~3。

所述多晶微粉为金刚石多晶体，粒径为3~9微米。

本工艺所说的抛光是之减薄之后的抛光，抛光的作用如下：

（1）去除粗磨之后的划痕，减少WAFER的内应力，使得裂片时不会造成乱裂，提高良率；

（2）将WAFER背面抛光也是激光划片和裂片工艺必要条件，因为背面抛成镜面之后，划片机才可以用CCD进行对点，完成划片工作。使用本品的抛光液对蓝宝石衬底继续进行加工，首