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硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液.doc

硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液.doc

    硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    腐蚀剂

    6

    12

    10

    40

    20

    1

    4

    腐蚀抑制剂

    3

    0.5

    1.5

    20

    10

    0.5

    0.5

    表面活性剂

    1.5

    1.5

    3.5

    10

    10

    15

    5

    PH调节剂

    1

    2.5

    1

    5

    10

    0.1

    15

    去离子水

    88.5

    83.5

    84

    25

    50

    83.4

    75.5

    制备方法将各组分混合搅拌均匀即可。

    原料配伍本品各组分质量份配比范围为：腐蚀剂0.5~40、腐蚀抑制剂0.5~20、表面活性剂0.5~15、PH调节剂0.1~10、去离子水30~95。

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