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用于多晶硅抛光的化学机械抛光液.doc

用于多晶硅抛光的化学机械抛光液.doc

    用于多晶硅抛光的化学机械抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    二氧化硅

    SiO2(80nm)

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    表面活性剂

    脂肪醇聚氧乙烯醚

    200ppm

    200ppm

    －

    －

    －

    －

    －

    甘油环氧乙烷缩合物

    －

    －

    200ppm

    －

    －

    －

    －

    十二胺聚氧乙烯醚

    －

    －

    －

    200ppm

    －

    －

    200ppm

    蓖麻油环氧乙烷缩合物

    －

    －

    －

    －

    200ppm

    －

    －

    十八胺聚氧乙烯醚

    －

    －

    －

    －

    －

    200ppm

    －

    分散稳定剂

    聚丙烯酸（分子量5000）

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    0.2

    去离子水

    余量

    余量

    余量

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