CN114641546B 接合两个亲水性表面的方法 （法国原子能源和替代能源委员会）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114641546B(45)授权公告日2025.01.10

(21)申请号202080076923.9

(22)申请日2020.10.20

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114641546A

(43)申请公布日2022.06.17

(30)优先权数据

F10.31FR

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2022.05.05

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/FR2020/0518882020.10.20

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2021/084188FR2021.05.06

(73)专利权人法国原子能源和替代能源委员会地址法国巴黎

(72)发明人弗兰克·富尔内尔A·卡尔维斯G·埃列乌特文森特·拉利

克里斯托弗·莫拉勒斯

(74)专利代理机构北京市铸成律师事务所

11313

专利代理师吕艳英贾慧娜

(51)Int.CI.

C09J5/02(2006.01)

C09J5/06(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

(56)对比文件

US2014174649A1,2014.06.26

US2014342528A1,2014.11.20

WO2015107290A2,2015.07.23

审查员武娟娟

(54)发明名称

接合两个亲水性表面的方法

(57)摘要

CN114641546B直接接合的方法包括下列步骤：-供应第一基板(10)以及第二基板(20),该第一基板(10)被第一亲水性表面(11)所覆盖，而该第二基板(20)被第二亲水性表面(21)所覆盖；-特定分子在该第一亲水性表面(11)和/或该第二亲水性表面(21)上的沉积，该特定分子(30)包含有被至少一个原子所分开的亲水性官能基以及碱性官能基；-使该第一亲水性表面(11)与该第二亲水性表面(21)接触，于是该两个亲水性表面(11,21)

CN114641546B

5000

4500

4000

3500

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2500

2000

1500

1000

500

100200

特定分子

300400500600700800900

退火温度(℃)

CN114641546B权利要求书1/2页

2

1.一种用于两个基板(10,20)的直接接合的方法，其包括下列步驟:

-供应第一基板(10)以及第二基板(20),该第一基板(10)被第一亲水性表面(11)所覆盖，而该第二基板(20)被第二亲水性表面(21)所覆盖，

-特定分子(30)在该第一亲水性表面(11)或该第二亲水性表面(21)上的沉积，该特定分子(30)包含有被至少一个原子所分开的亲水性官能基以及碱性官能基，

-使该第一亲水性表面(11)与该第二亲水性表面(21)接触，于是该两个亲水性表面(11,21)被彼此相互接合，而该第一基板(10)和该第二基板(20)被组装，

其中该亲水性官能基为羟基官能，

其中该碱性官能基为一级、二级或三级胺，并且

其中该特定分子(30)的摩尔质量低于或相等于500g/摩尔。

2.根据权利要求1的接合方法，其中使该第一亲水性表面(11)与该第二亲水性表面

(21)接触之后，所述方法包括接合退火热处理的施用的步骤。

3.根据权利要求2的接合方法，其中所述接合退火热处理在低于或相等于500℃的温度下。

4.根据权利要求1至3中任何一项的接合方法，其中该特定分子(30)在该第一亲水性表面(11)和该第二亲水性表面(21)上沉积。

5.根据权利要求1至3中任何一项的接合方法，其中该特定分子(30)完全地覆盖该第一亲水性表面(11)。

6.根据权利要求1至3中任何一项的接合方法，其中该特定分子(30)完全地覆盖该第二亲水性表面(21)。

7.根据权利要求1至3中任何一项的接合方法，其中该特定分子(30)覆盖从0.05%至10%的该第一亲水性表面(11)或该第二亲水性表面(21)。

8.根据权利要求7的接合方法，其中该特定分子(30)覆盖从0.05%至1%的该第一亲水性表面(11)或该第二亲水性表面(21)。

9.根据权利要求1至3中任何一项的接合方法，其中该特定分子(30)呈液体形式被沉