化学机械抛光液36.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

研

磨

颗

粒

二氧化铈（50nm）

0.1

－

－

－

－

－

―

―

聚苯乙烯（120nm）

―

5

－

－

－

－

－

－

二氧化钛（150nm）

－

―

10

－

－

－

－

－

掺杂铝的二氧化硅（20nm）

－

－

―

20

－

－

－

－

三氧化二铝（30nm）

－

－

－

―

30

－

－

－

覆盖铝的二氧化硅（70nm）

－

－

－

－

―

1

－

－

二氧化硅（80nm）

－

－

－

－

－

―

3

3

硅

抑

制

剂

苯二亚甲基-双（八烷基二甲基氯化铵）

5

－

－

－

－

－

―

―

三乙氧基-双（十八烷基二乙基溴化铵）

－

1

－

－

－

－

－

－

聚亚甲基（30）-双（十六烷基二乙基溴化铵）

－

－

0.0001

－

－

－

－

－

三（十六烷基）甲基氯化铵

－

－

－

1

－

－

－

－

四亚甲基-双（十六烷基二甲基溴化铵）

－

－

－

－

0.5

－

－

－

聚氧乙烯基（30）-双（十四烷基二甲基溴化铵）

－

－

－

－

0.001

－

－

－

八烷基三甲基氯化铵

－

－

－

－

－

3

－

－

八烷基三乙基溴化铵

－

－

－

－

－

－

0.5

－

十二烷基三乙基溴化铵

－

－

－

－

－

－

－

0.01

硅

增

速

剂

1,1’

0.001

－

－

－

－

－

－

－

聚（六亚甲基双氰基胍-六亚甲基二胺）盐酸盐（聚合度2）

－

10

－

－

－

－

－

－

聚六亚甲基胍磷酸盐（聚合度100）

－

－

0.002

－

－

－

－

－

氨基胍

－

－

－

2

－

－

－

－

乙酸胍

－

－

－

－

3

－

－

－

聚六亚甲基双胍磷酸盐（聚合度2）

－

－

－

－

0.5

－

－

－

盐酸聚六亚甲基胍（聚合度100）

－

－

－

－

－

0.01

－

－

胍

－

－

－

－

－

－

1.5

－

聚六亚甲基双胍磷酸盐（聚合度为100）

－

－

－

－

－

－

－

0.001

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

9#

10#

11#

12#

13#

14#

15#

研

磨

颗

粒

二氧化硅（80nm）

3

－

－

3

－

－

－

二氧化硅（100nm）

－

2

2

－

－

－

－

三氧化二铝（50nm）

－

－

－

－

1

1

1

硅

抑

制

剂

十六烷基三甲基溴化铵

0.1

－

－

－

－

－

－

山俞基三甲基溴化铵

－

0.5

－

－

－

－

－

聚亚甲基（12）-双（十六烷基二甲基溴化铵）

－

－

0.01

－

－

－

－

十二烷基三甲基乙基溴化铵

－

－

－

1

－

－

－

二乙氧基-双（十二烷基二甲基溴化铵）

－

－

－

0.2

－

－

－

双氯化十烷基二甲基乙醚铵

－

－

－

－

0.5

－

－

十二烷基二甲基苄基氯化铵

－

－

－

－

－

0.2

－

十八烷基二羟乙基甲基氯化铵

－

－

－

－

－

－

0.1

硅

增

速

剂

聚（六亚甲基双氰基胍-六亚甲基二胺）盐酸盐（聚合度100）

0.0001

－

－

－

－

－

－

双胍

－

2

－

－

－

－

－

氨基胍磺酸盐

－

－

1.5

－

－

－

－

1,1’

－

－

－

2

－

－

－

吗啉胍

－

－

－

1

－

－

－

硝酸胍

－

－

－

－

0.2

－

－

盐酸吗啉胍

－

－

－

－

－

0.8

－

盐酸苯乙双胍

－

－

－

－

－

－

0.5

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

16#

17#

18#

19#

20#

21#

22#

研磨颗粒

二氧化硅（100nm）

10

20

3

3

3

3

3

硅

抑

制

剂

双八烷基二甲基氯化铵

3

－

－

－

－

－

－

辛基十六烷基二甲基溴化铵

－

0.1

－

－

－

－

－

氯化双十二烷基二甲基羟丙基双铵

－

－

0.05

－

－

－

－

双二十烷基二甲基溴化铵

－

－

－

0.1

－

－

－

双十八烷基甲基羟乙基氯化铵

－

－

－

－

1

－

－

三辛基甲基氯化铵

－

－

－

－

－

0.5

－

N-十六烷基亚丙基二胺双氯化铵

－

－

－

－

－

－

0.005

硅

增

速

剂

聚六亚甲基胍磷酸盐（聚合度2）

0.05

－

－

－

－

－

－

氨基胍碳酸氢盐

－

0.005

－

－

－

－

－

6-脒基-2-萘基4胍基苯甲酸酯甲基磺酸盐

－

－

0.2

－

－

－

－

磷酸氢二胍

－

－

－

0.2

－

－

－

氨基胍盐酸盐

－

－

－

－

1.5

－

－

硫酸胍

－

－

－

－

－

0.5

－

聚六亚甲基双胍磷酸盐（聚合度50）

－

－

－

－

－

－

0.002

添加剂

甲基纤维素

―

－

－