化学机械抛光液38.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

研

磨

颗

粒

SiO2(35nm)

15

12

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(60nm)

－

－

10

9

－

－

－

－

－

－

SiO2(70nm)

－

－

－

－

8

7

－

－

－

－

SiO2(80nm)

－

－

－

－

－

－

5

－

－

－

Al2O3(30nm)

－

－

－

－

－

－

－

3

－

－

CeO2(50nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

－

TiO2(120nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.5

络

合

剂

柠檬酸

10

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丁二酸

－

0.01

－

－

－

－

－

－

－

－

丙二酸

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

苹果酸

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

乳酸

－

－

－

－

0.05

－

－

－

－

－

没食子酸

－

－

－

－

－

1

－

－

－

－

磺基水杨酸

－

－

－

－

－

－

5

－

－

－

醋酸

－

－

－

－

－

－

－

3

－

－

柠檬酸铵

－

－

－

－

－

－

－

－

4

－

酒石酸钾

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

腐

蚀

抑

制

剂

丙烯酸甲酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn=3000

3

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn=5000

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酸的星形共聚物，Mn＝2500

－

－

1.5

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸甲酯与丙烯酸羟乙酯的星形共聚物，Mn＝5000

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与甲基丙烯酸的星形共聚物，Mn＝15000

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

－

星形聚丙烯酸Mn＝800

－

－

－

－

－

5

－

－

－

－

甲基丙烯酸乙酯与甲基丙烯酸羟乙酯的星形共聚物，Mn＝15000

－

－

－

－

－

－

0.005

－

－

－

丙烯酸甲酯、丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星形共聚物，Mn＝30000

－

－

－

－

－

－

－

0.005

－

－

丙烯酸丁酯、丙烯酰胺和丙烯酸的三元星形共聚物，Mn＝10000

－

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

甲基丙烯酸与甲基丙烯酸羟乙酯的星形共聚物，Mn＝3000

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.8

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

11#

12#

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

20#

研

磨

颗

粒

SiO2(150nm)

1.5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(80nm)

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(100nm)

－

－

5

5

－

－

－

－

2

2

SiO2(90nm)

－

－

－

－

0.8

1.5

－

－

－

－

SiO2(120nm)

－

－

－

－

－

－

1

1

－

－

络

合

剂

2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸

2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

乙二胺四亚甲基膦酸

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

二乙烯三胺五甲叉膦酸

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

羟基亚乙基二膦酸

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

氨基三亚甲基膦酸

－

－

－

－

2

－

－

－

－

－

2-羟基膦酸基乙酸

－

－

－

－

－

2

－

－

－

－

多氨基多醚基亚甲基膦酸

－

－

－

－

－

－

1.5

－

－

－

二乙烯三胺五甲叉膦酸钾

－

－

－

－

－

－

－

2.5

－

－

乙二胺四甲叉膦酸

－

－

－

－

－

－

－

－

6

－

多元醇膦酸酯

－

－

－

－

－

－

－

－

－

3

腐

蚀

抑

制

剂

甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星形共聚物，Mn=10000

1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸丙酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn=5000

－

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn＝50000

－

－

0.0001

－

－

－

－

－

－

－

甲基丙烯酸甲酯与丙烯酸羟乙酯的星形共聚物，Mn＝7000

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯、丙烯酰胺和丙烯酸的三元星形共聚物，Mn＝3000

－

－

－

－

0.8

－

－

－

－

－

丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星形共聚物，Mn=8000

－

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

丙烯酸丁酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn＝6000

－

－

－

－

－

－

0.002

－

－

－