化学机械抛光液39.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

研

磨

颗

粒

二氧化铈（50nm）

0.1

－

－

－

－

－

－

聚苯乙烯（120nm）

－

5

－

－

－

－

－

二氧化钛（150nm）

－

－

10

－

－

－

－

掺杂铝的二氧化硅（20nm）

－

－

－

20

－

－

－

三氧化二铝（30nm）

－

－

－

－

30

－

－

覆盖铝的二氧化硅（70nm）

－

－

－

－

－

1

－

二氧化硅（80nm）

－

－

－

－

－

－

3

硅

抑

制

剂

丙烯酸甲酯与丙烯酰胺的星型共聚物，Mn=10000

0.001

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn=5000

－

3

－

－

－

－

－

丙烯酸甲酯与丙烯酸羟乙酯的星形共聚物，Mn＝5000

－

－

0.5

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酸的星形共聚物，Mn＝2500

－

－

－

0.001

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与甲基丙烯酸的星形共聚物，Mn＝15000

－

－

－

－

1

－

－

丙烯酸与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn＝5000

－

－

－

－

0.01

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn＝5000

－

－

－

－

－

1

－

甲基丙烯酸乙酯与甲基丙烯酸羟乙酯的星型共聚物，Mn＝15000

－

－

－

－

－

－

0.1

硅

增

速

剂

1,1’

0.001

－

－

－

－

－

－

聚（六亚甲基双氰基胍-六亚甲基二胺）盐酸盐（聚合度2）

－

10

－

－

－

－

－

聚六亚甲基胍磷酸盐（聚合度100）

－

－

0.002

－

－

－

－

氨基胍

－

－

－

2

－

－

－

乙酸胍

－

－

－

－

3

－

－

聚六亚甲基双胍磷酸盐（聚合度2）

－

－

－

－

0.5

－

－

盐酸聚六亚甲基胍（聚合度100）

－

－

－

－

－

0.01

－

胍

－

－

－

－

－

－

1.5

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

8#

9#

10#

11#

12#

13#

14#

研

磨

颗

粒

二氧化硅（80nm）

3

3

－

－

3

－

－

二氧化硅（100nm）

－

－

2

2

－

－

－

三氧化二铝（50nm）

－

－

－

－

－

1

1

硅

抑

制

剂

丙烯酸甲酯、丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星型共聚物，Mn=30000

0.0005

－

－

－

－

－

－

对甲基苯乙烯与环氧乙烷的二元星型共聚物，Mn=1000

－

0.001

－

－

－

－

－

丙烯酸丁酯、丙烯酰胺和丙烯酸的三元星型共聚物，Mn＝10000

－

－

0.005

－

－

－

－

苯乙烯与环氧乙烷的二元星形共聚物，Mn＝8000

－

－

－

0.0005

－

－

－

甲基丙烯酸与甲基丙烯酸羟乙酯的星形共聚物，Mn＝3000

－

－

－

－

2

－

－

甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星型共聚物，Mn＝50000

－

－

－

－

－

0.002

－

丙烯酸丙酯与丙烯酰胺的星形共聚物，Mn＝5000

－

－

－

－

－

－

0.8

硅

增

速

剂

聚六亚甲基双胍磷酸盐（聚合度为100）

0.001

－

－

－

－

－

－

聚（六亚甲基双氰基胍-六亚甲基二胺）盐酸盐（聚合度100）

－

0.1

－

－

－

－

－

双胍

－

－

2

－

－

－

－

氨基胍磺酸盐

－

－

－

1.5

－

－

－

1,1’

－

－

－

－

2

－

－

吗啉胍

－

－

－

－

1

－

－

硝酸胍

－

－

－

－

－

0.2

－

盐酸吗啉胍

－

－

－

－

－

0.8

－

盐酸苯乙双胍

－

－

－

－

－

－

0.5

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

15#

16#

17#

18#

19#

20#

21#

研磨颗粒

二氧化硅（100nm）

10

20

3

3

3

3

3

硅

抑

制

剂

丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯和丙烯的三元星型共聚物，Mn＝6000

0.005

－

－

－

－

－

－

甲基丙烯酸甲酯与环氧乙烷的二元星型共聚物，Mn＝10000

－

0.05

－

－

－

－

－

苯乙烯与丙烯酸羟乙酯的二元星型共聚物，Mn＝6000

－

－

0.5

－

－

－

－

甲基丙烯酸丙酯和甲基丙烯酰胺的星型共聚物，Mn＝800

－

－

－

3

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星型共聚物，Mn＝5000

－

－

－

－

1

－

－

丙烯酸丁酯与丙烯酰胺的星型共聚物，Mn＝6000

－

－

－

－

－

1

－

丙烯酸乙酯与丙烯酰胺的星型共聚物，Mn＝3000

－

－

－

－

－

－

0.2

硅

增

速

剂

聚六亚甲基胍磷酸盐（聚合度2）

0.05

－

－

－

－

－

－

氨