电水动力驱动微马达：原理、特性与应用探索.docx

电水动力驱动微马达：原理、特性与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机械电子系统（MEMS）在现代科技领域中扮演着愈发重要的角色。MEMS作为集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微型系统，以其体积小、质量轻、功耗低等显著特点，在众多领域得到了广泛应用。其中，微马达作为MEMS的关键执行器件，犹如人体的肌肉，负责将电能、化学能等各种形式的能量转化为机械能，驱动微系统完成各种复杂任务，对整个MEMS系统的性能起着举足轻重的作用。

在过去的几十年里，科研人员致力于开发各种类型的微马达，以满足不同应用场景的需求。目前，电磁、静电、压