CN117142428A 一种控制液液界面运动的芯片制作方法及芯片 （中国科学技术大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117142428A(43)申请公布日2023.12.01

(21)申请号202311268382.1

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人中国科学技术大学

地址230026安徽省合肥市包河区金寨路

96号

(72)发明人刘刚陈丽娟郭辰飞熊瑛田扬超关勇吴朝

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

专利代理师郭化雨

(51)Int.CI.

B81C3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

GO3F7/20(2006.01)

B01L3/00(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图2页

(54)发明名称

一种控制液液界面运动的芯片制作方法及

芯片

(57)摘要

CN117142428A本申请公开了一种控制液液界面运动的芯片制作方法及芯片，制备芯片图形掩膜版，基于微通道结构材料、芯片图形掩膜版、预备硅片制备得到微流控芯片，所述微流控芯片包括顶层、微流控通道层和底层，顶层从左到右依次蚀刻有第一进液口、第一观测窗口以及第二进液口，向第一进液口注入第一溶液，直至排出所述微流控芯片中的气体；向第二进液口注入第二溶液，直至所述第一进液口处有所述第二溶液流出，即提出一种通过在氮化硅窗口上制作图形控制液-液界面运动到固定位置的微流控芯片，可以实现对液液界面的精确操控，并在固定位置稳定保持。通过窗口可以观测液液界面现象，获得高分辨的

CN117142428A

制备芯片图形掩膜版

基于微通道结构材料、芯片图形掩膜版、预备硅片制备得到微流控芯片

向第一进液口注入第一溶液，直至排出所述微流控芯片中的气体

向第二进液口注入第二溶液，直至所述第一进液口处有所述第二溶液流出

S101

S102

S103

S104

CN117142428A权利要求书1/2页

2

1.一种控制液液界面运动的芯片制作方法，其特征在于，包括：

制备芯片图形掩膜版，所述芯片图形掩膜版包括微流控通道层的微通道结构和所述微流控芯片的窗口；

基于微通道结构材料、芯片图形掩膜版、预备硅片制备得到微流控芯片，所述微流控芯片包括顶层、微流控通道层和底层，顶层从左到右依次蚀刻有第一进液口、第一观测窗口以及第二进液口，所述第一观测窗口，用于展示液液界面，所述微流控通道层包括主通道、支通道、第一进口槽和第二进口槽，所述主通道位于所述第一进口槽和第二进口槽之间，并且两侧连接有支通道；

向第一进液口注入第一溶液，直至排出所述微流控芯片中的气体；

向第二进液口注入第二溶液，直至所述第一进液口处有所述第二溶液流出，所述第二溶液经所述主通道到达所述支通道口处，所述支通道被和第二溶液相不互溶的第一溶液阻挡，于所述支通道与所述主通道的接口处形成第一溶液与第二溶液构成的液液界面。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二溶液从所述第二进液口进入，流过所述主通道后流出所述微流控通道层，受到力的限制不侵入所述支通道；所述液液界面停留在流体静水力，粘性力和毛细力平衡的位置。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于微通道结构材料、芯片图形掩膜版、硅片制备得到微流控芯片包括：

基于微通道结构材料，通过微加工工艺处理得到具备微通道结构层的硅片；

基于具备微通道结构层的硅片和另一硅芯片键合组装成预备芯片，基于湿法腐蚀溶液处理已经键合后的预备芯片，得到具备进液口和观测窗口的微流控芯片。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于微通道结构材料、芯片图形掩膜版、预备硅片制备得到微流控芯片之后，还包括：

将第一注射泵、第二注射泵、第一注射器、第二注射器与所述微流控芯片组装，所述第一进液口的一端通过软管与连接了所述第一注射器的三通阀连接；所述第二进液口的一端通过软管与连接了所述第二注射器的三通阀连接。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述向第一进液口注入第一溶液，直至排出所述微流控芯片中的气体，包括：

将第一注射器的前端三通阀拨至第一注射器与第一进口方向，将连接充满第二溶液的第二注射器的前端三通阀拨至第二注射器与废液瓶方向，开启第一注射泵，以第一预设流速从第一进口注入第一溶液，直至完全挤出通道及管道内密封气体，关闭第一注射泵。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述