半导体器件 第14-11部分：半导体传感器 用于测量紫外线、照度和温度的集成声表面波传感器的测试方法.docx

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《半导体器件第14-11部分：半导体传感器用于测量紫外线、照度和温度的集成声表面波传感器的测试方法》标准发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonStandardforSemiconductorDevices-Part14-11:SemiconductorSensors-TestMethodsofIntegratedSurfaceAcousticWaveSensorsforMeasuringUltraviolet,IlluminanceandTemperature

摘要：

随着物联网、智能感知和精准环境监测技术的飞速发展，对微型化、低功耗、高精度且能实现多参数集成的传感器需求日益迫切。声表面波（SAW）传感器以其独特的优势，成为该领域的关键技术之一。然而，国内在基于SAW技术的集成传感器测试方法方面长期缺乏统一的标准，导致产品性能评价不一、市场秩序不规范，制约了产业的健康发展与国际竞争力。本报告旨在阐述国家标准《半导体器件第14-11部分：半导体传感器用于测量紫外线、照度和温度的集成声表面波传感器的测试方法》的立项背景、核心内容及其重要意义。该标准等同采用或参考国际电工委员会（IEC）相关标准，旨在系统性地规定集成SAW传感器在测量紫外线辐射、环境照度及温度时的术语定义、器件结构、测试条件与具体方法。报告详细分析了该标准对于填补国内技术空白、规范产品设计与生产、保障产品质量一致性、推动半导体传感器标准体系完善以及提升我国相关产业在全球市场中的技术话语权所发挥的关键作用。报告结论指出，该标准的制定与实施将为产业链上下游企业提供科学、可靠的技术依据，加速SAW传感器技术的产业化与规模化应用，对我国高端传感器产业的标准化、高质量发展具有深远的战略意义。

关键词：

声表面波传感器；集成传感器；测试方法；半导体传感器；标准化；紫外线测量；照度测量；温度测量

SurfaceAcousticWaveSensor;IntegratedSensor;TestMethod;SemiconductorSensor;Standardization;UltravioletMeasurement;IlluminanceMeasurement;TemperatureMeasurement

正文

一、立项背景与目的意义

声表面波（SurfaceAcousticWave,SAW）传感器是一种利用压电基片上传播的声表面波作为敏感媒介的器件。其核心原理是：外界待测物理量（如紫外线强度、光照度、温度、压力、气体浓度等）的变化，会引起SAW传播路径上的波速或频率发生改变，通过叉指换能器（InterdigitalTransducer,IDT）将这种变化转换为电信号输出，从而实现高精度的信息感知。

相较于传统传感器，SAW传感器具备一系列显著优势：首先，其能量集中于基片表面，具有极高的质量负载和能量密度敏感性，可实现极高的检测精度（可达10^-6量级甚至更高）。其次，它采用平面工艺制造，与半导体集成电路（IC）工艺兼容性强，易于实现微型化、集成化和批量化生产，从而具备低成本潜力。第三，SAW器件本身可作为无源元件，结合射频读取电路，能够构建无线无源传感系统，极大降低了系统功耗，特别适用于物联网节点、嵌入式监测等场景。最后，其输出为直接的频率信号，抗干扰能力强，信号易于数字化处理。

集成SAW传感器是SAW技术的进一步发展，它将SAW传感元件、必要的信号调理电路（如振荡器、放大器）、温度补偿单元乃至无线收发模块等集成于单一芯片或封装内，形成了功能更完整、性能更稳定、使用更便捷的“片上系统”。这种高度集成化进一步强化了其体积小、重量轻、可靠性高、一致性好等特点。

本标准作为GB/T或SJ/T（具体标准号待发布）系列标准《半导体器件第14部分：半导体传感器》的重要组成部分，旨在针对用于测量紫外线、照度和温度的集成SAW传感器，建立一套科学、统一、可操作的测试方法。当前，国内在该细分领域缺乏权威的国家或行业标准，企业多依据自身经验或参考国外零散资料进行产品测试，导致产品性能指标定义模糊、测试条件不一致、评价体系不统一。这不仅增加了上下游企业的沟通成本，也影响了产品质量的可靠性与可比性，阻碍了技术的快速推广和产业的规范化发展。

因此，制定本标准具有紧迫而深远的意义：

1.填补标准空白：系统建立集成SAW传感器（紫外/照度/温度）的测试标准体系，结束国内无标可依的局面。

2.规范产业发展：为传感器设计、制造、测试和应用提供统一的技术规范和评价准则，引导产品向标准化、系列化方向发展，保障产品质量，提升行业整体水平。

3.提升国