摘要
静压气体轴承具有使用寿命长、无污染、精度高以及抗振性好等优点,被广
泛使用在超精密仪器设备当中。但其受限于气体介质的可压缩特性,导致承载性
能与刚度存在明显不足,加之动态特性与稳定性问题,严重制约了静压气体轴承
性能的提升。本文基于气体润滑理论,以小孔节流和表面节流为基础,提出双周
向复合均压槽静压气体止推轴承的设计方案,并以此为研究对象,系统探究其静
态特性、动态特性并对其进行性能参数的优化,旨在提升气体轴承的综合能力。
本文的主要研究内容包括:
(1)基于气体
摘要
静压气体轴承具有使用寿命长、无污染、精度高以及抗振性好等优点,被广
泛使用在超精密仪器设备当中。但其受限于气体介质的可压缩特性,导致承载性
能与刚度存在明显不足,加之动态特性与稳定性问题,严重制约了静压气体轴承
性能的提升。本文基于气体润滑理论,以小孔节流和表面节流为基础,提出双周
向复合均压槽静压气体止推轴承的设计方案,并以此为研究对象,系统探究其静
态特性、动态特性并对其进行性能参数的优化,旨在提升气体轴承的综合能力。
本文的主要研究内容包括:
(1)基于气体
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