CN114459671A 柔性透明电容式传感器及其制作方法 （苏州苏大维格科技集团股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114459671A(43)申请公布日2022.05.10

(21)申请号202011244472.3

(22)申请日2020.11.10

(71)申请人苏州苏大维格科技集团股份有限公司

地址215123江苏省苏州市工业园区新昌

路68号

申请人苏州大学

(72)发明人许镇宗刘艳花

(74)专利代理机构苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32295

专利代理师唐静芳

(51)Int.CI.

GO1L23/12(2006.01)

B82Y15/00(2011.01)

B82Y40/00(2011.01)

权利要求书2页说明书5页附图1页

(54)发明名称

柔性透明电容式传感器及其制作方法

(57)摘要

CN114459671A本申请涉及一种柔性透明电容式传感器及其制作方法，方法包括：以PDMS为基底，并在PDMS基底上形成微结构；将银纳米线溶液涂覆于PDMS基底的表面，以形成银纳米线层；在银纳米线层和PDMS基底远离银纳米线层的一侧均设置柔性透明导电电极；通过PI胶带将PDMS基底、银纳米线层及柔性透明导电电极封装。通过采用PDMS作为压力传感器的基底，PDMS具有良好的柔韧性及可贴附性，减少压力传感器因接触不良而造成的信号采集误差的发生；PDMS基底上设置有微结构，其能够高效地感应压力分布，提高压力传感器的准确性；通过设置有柔性透明导电电极，以

CN114459671A

以PDMS为基底，并在PDMS基底上形成微结构

以PDMS为基底，并在PDMS基底上形成微结构

将银纳米线溶液涂覆于所述PDMS基底的表面，以形成银纳米线层

在所述银纳米线层和所述PDMS基底远离所述银纳米线层的一侧均设置柔性透明导电电极

通过P1胶带将所述PDMS基底、银纳米线层及柔性透明导电电极封装

S1

S2

S3

S4

CN114459671A权利要求书1/2页

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1.一种柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

以PDMS为基底，并在PDMS基底上形成微结构；

将银纳米线溶液涂覆于所述PDMS基底的表面，以形成银纳米线层；

在所述银纳米线层和所述PDMS基底远离所述银纳米线层的一侧均设置柔性透明导电电极；

通过PI胶带将所述PDMS基底、银纳米线层及柔性透明导电电极封装。

2.如权利要求1所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述微结构为微米量级槽深的金字塔阵列结构。

3.如权利要求2所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述PDMS为基底的制作过程为：

制作PDMS粘黏剂；

将所述PDMS粘黏剂放入真空干燥箱内抽真空处理，直至所述PDMS粘黏剂内部的气泡消失；

将所述PDMS粘黏剂旋涂于镍板上，所述镍板上设置有微米量级槽深金字塔阵列结构；

将旋涂有所述PDMS粘黏剂的镍板放入真空干燥箱内抽真空固化，以得到固化后的PDMS薄膜，所述PDMS薄膜为所述PDMS基底。

4.如权利要求3所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述微米量级槽深金字塔阵列结构可通过光刻或纳米压印形成。

5.如权利要求1所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述银纳米线溶液通过水热法制成。

6.如权利要求5所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述银纳米线溶液的制作过程为：

在高温高压条件下，将聚乙烯吡咯烷酮溶解于乙二醇中，聚乙烯吡咯烷酮完全溶解后，得到第一混合溶液；

第一混合溶液冷却至室温，加入硝酸银，并搅拌至硝酸银完全溶解于第一混合溶液中，得到第二混合溶液；

在乙二醇中加入氯化铁搅拌溶解后得到第三混合溶液，将所述第二混合溶液及第三混合溶液混合后并搅拌以得到第四混合溶液；

将第四混合溶液放置于反应釜中，将所述反应釜放置于烤箱内静置；

对静置后的沉淀进行清洗。

7.如权利要求6所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，对沉淀进行清洗的过程为：

在静置后的第四混合溶液中加入乙二醇反应，并对其进行离心处理；

再分别加入丙酮和乙醇并采用如上步骤对第四混合溶液进行离心处理，直至离心处理后的第四混合溶液符合银纳米线溶液的要求。

8.如权利要求1所述的柔性透明电容式传感器的制作方法，其特征在于，所述柔性透明导电电极为柔性自支撑镍网格电极。

9.如权利要求8所述的柔性透明电