HPM APM CL程序建立与PM点操作指南.pdfVIP

建立HPM/APMCL程序

一、CL程序:CL—ControlLanguage控制语言

CL程序可以支持批量操作和连续控制策略。CL程

序能够HPM/APM的所有参数和功能。

二、PM点:PM点是操作CL程序的窗口，用于装载、调试、启动和

程

CL序的执行。

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图调节点/过程模块点比较

有一个图

显示1本地窗口的过程模块点详细显示

有一个图

1、建立PM点菜单:工程师主菜单→NIM→工艺点→工艺模块

2、PM点结构:PM点按顺序HPM的任何参数，PM点执行与其相关的

CL程序。PM点的寄存器包括127个标志量寄存器、80个实数寄存器、

4个时间寄存器、16个字符串寄存器。

图1高性能过程管理器功能图

有一个图

3、PM点参数：SEQSLTSZ：为与PM点相关的CL目标程序占用

HPMM的内存单元MU。CNTLLOCK：程序控制的权限。SPLOCK：

PM点寄存器的权限。RSTRUPT：当HPM从IDLE状态变为

OK状态时，CL程序如何启动。

有一个图

4、PM点:CTL+F12将PM点到HPMM中。

三、CL程序:

1、CL程序结构:

有一个图

2、CL程序语句:包括:语句:

Local/External赋值语句:Set/State

Change

建立HPM/APMCL程序

一、CL程序：CL—ControlLanguage控制语言

CL程序可以支持批量操作和连续控制策略。

CL程序能够HPM/APM的所有参数和功能。

二、PM点：PM点是操作CL程序的窗口，用于装载、调试、启动

和CL程序的执行。

Figure4RegulatoryPoint/ProcessModulePointComparison

有一个图

Disy1NativeWindow’sProcessModulePointDetailDisy

有一个图

1、建立PM点菜单：工程师主菜单→NIM→ProcessPoint→ProcessModule

2、PM点结构：PM点语序HPM的任何参数

PM点执行与它相关的CL程序

PM点的寄存器包括127个标志量寄存器、80个实数寄存

器、4个时间寄存器、16个字符串寄存器。

Figure1High-PerformanceProcessManagerFunctionalDiagram

有一个图

3、PM点参数：SEQSLTSZ：为与PM点相关的CL目标程序占用HPMM的内

存单元MU。

CNTLLOCK：程序控制的权限。

SPLOCK：PM点寄存器的权限。

RSTRUPT：当HPM为IDLE到OK状态时，CL程序如何启

动。

有一个图

4、PM点：CTL+F12将PM点到HPMM中。

三、CL程序：

1、CL程序结构：

有一个图

2、CL程序语句：

包括：语句：Local/External

赋值语句：Set/StateChange

条件语句:If/Then/Else/ElseIf转移

语句:GOTO循环语句:Loop/Repeat通

讯语句:Send等待语句:Wait/Pause错误

处理语句:Initiat.