CN114590020A 丝网印刷网板及其制作方法 （安徽华晟新能源科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114590020A(43)申请公布日2022.06.07

(21)申请号202210267003.6

(22)申请日2022.03.17

(71)申请人安徽华晟新能源科技有限公司

地址242000安徽省宣城市宣城经济技术

开发区科技园

(72)发明人符欣周肃金礼发张鑫龚道仁

(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250

专利代理师薛异荣

(51)Int.CI.

B41F15/36(2006.01)

B41C1/14(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图3页

(54)发明名称

丝网印刷网板及其制作方法

(57)摘要

CN114590020A本发明涉及半导体器件制造技术领域，提供一种丝网印刷网板及其制作方法。丝网印刷网板包括：复合网版，包括层叠设置的刚性层和弹性层，弹性层和刚性层共同贯穿开设有印刷图形槽；边框，包围设置于复合网版的侧壁且与复合网版的侧壁连接。本发明的丝网印刷网板具有较

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1.一种丝网印刷网板，其特征在于，包括：

复合网版，包括层叠设置的刚性层和弹性层，所述弹性层和所述刚性层共同贯穿开设有印刷图形槽；

边框，包围设置于所述复合网版的侧壁且与所述复合网版的侧壁连接。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷网板，其特征在于，

所述弹性层包括图形区和连接区，所述连接区环绕所述图形区，且所述连接区与所述边框连接；

所述刚性层完全覆盖所述图形区，且所述刚性层至少暴露出部分所述连接区；或者，所述刚性层完全覆盖所述图形区和所述连接区；

优选的，所述图形区的边缘形状为矩形。

3.根据权利要求1所述的丝网印刷网板，其特征在于，还包括：胶层，所述胶层位于所述刚性层和所述弹性层之间；所述印刷图形槽还贯穿所述胶层；

优选的，所述胶层为热熔胶层。

4.根据权利要求1-3任一项所述的丝网印刷网板，其特征在于，

所述刚性层包括金属膜层；

优选的，所述金属膜层包括：钢金属膜、镍金属膜、钛金属膜、合金钢金属膜、镍合金金属膜或钛合金金属膜；

优选的，所述刚性层的厚度为5μm～50μm。

5.根据权利要求1-3任一项所述的丝网印刷网板，其特征在于，所述弹性层包括聚酯材料层；

优选的，所述聚酯材料层包括聚酯膜或聚酯网；

优选的，所述弹性层的厚度为10μm～80μm。

6.一种丝网印刷网板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供弹性层；

提供刚性层，将所述刚性层与所述弹性层复合在一起形成复合网版；

提供边框，将所述边框包围所述复合网版的侧壁且与所述复合网版的侧壁连接；

对所述复合网版进行图形化，形成共同贯穿所述弹性层和刚性层的印刷图形槽。

7.根据权利要求6所述的丝网印刷网板的制作方法，其特征在于，对所述复合网版进行图形化的工艺为激光刻蚀工艺。

8.根据权利要求6所述的丝网印刷网板的制作方法，其特征在于，将所述刚性层与所述弹性层复合在一起的步骤包括：

对所述刚性层的一侧表面涂覆胶层并烘干；

在设定温度下，将所述刚性层通过所述胶层与所述弹性层复合在一起。

9.根据权利要求8所述的丝网印刷网板的制作方法，其特征在于，将所述刚性层与所述弹性层复合在一起的步骤包括：

对所述刚性层的一侧表面涂覆热熔胶层并烘干；

在50℃~200℃的温度下将所述刚性层通过所述热熔胶层与所述弹性层复合在一起；

优选的，在70℃~170℃的温度下将所述刚性层通过所述热熔胶层与所述弹性层复合在一起。

CN114590020A权利要求书2/2页

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10.根据权利要求6-9任一项所述的丝网印刷网板的制作方法，其特征在于，还包括：对所述复合网版进行图形化之后，清洗所述复合网版和所述边框；

对清洗后的所述复合网版和所述边框进行烘干处理。

CN114590020A说明书1/5页

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丝网印刷网板及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及半导体器件制造技术领域，具体涉及丝网印刷网