CN114583044A 一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备 （京东方科技集团股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114583044A(43)申请公布日2022.06.03

(21)申请号202011300621.3

(22)申请日2020.11.18

(71)申请人京东方科技集团股份有限公司

地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号

(72)发明人陈右儒

(74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319

专利代理师李娜

(51)Int.CI.

HO1L41/09(2006.01)

HO1L41/047(2006.01)

HO1L41/22(2013.01)

HO1L41/29(2013.01)

权利要求书2页说明书9页附图4页

(54)发明名称

一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备

(57)摘要

CN114583044A本发明提供了一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备，涉及压电技术领域。本发明通过在压电元件中设置第一电极以及位于第一电极上的第二电极，第二电极具有暴露出第一电极的开口，并在压电元件中设置压电结构，该压电结构包括第一压电部和围绕第一压电部设置的第二压电部，第一压电部设置在开口内并与第一电极接触，第二压电部设置在第二电极远离第一电极的一侧，第二压电部具有取向性。通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向

CN114583044A

CN114583044A权利要求书1/2页

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1.一种压电元件，其特征在于，包括：第一电极和设置在所述第一电极上的第二电极，所述第二电极具有暴露出所述第一电极的开口；

所述压电元件还包括压电结构，所述压电结构包括第一压电部和围绕所述第一压电部设置的第二压电部，所述第一压电部设置在所述开口内并与所述第一电极接触，所述第二压电部设置在所述第二电极远离所述第一电极的一侧；其中，所述第二压电部具有取向性。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，沿着所述第二压电部指向所述第一压电部的方向上，所述第一压电部的宽度是所述第二压电部的宽度的10倍至20倍。

3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第一电极的材料为氧化铟锡，所述第二电极的材料为铂。

4.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第一电极的厚度为100nm至500nm,所述第二电极的厚度小于100nm。

5.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第一压电部的厚度大于所述第二电极的厚度。

6.根据权利要求5所述的压电元件，其特征在于，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第二电极的厚度与所述第二压电部的厚度之和等于所述第一压电部的厚度。

7.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第一压电部和所述第二压电部的材料均为压电陶瓷。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电元件，其特征在于，所述压电元件还包括设置在所述压电结构远离所述第一电极一侧的第三电极。

9.一种压电振动器，其特征在于，包括衬底以及设置在所述衬底上的多个如权利要求1至8中任一项所述的压电元件。

10.根据权利要求9所述的压电振动器，其特征在于，所述压电振动器还包括覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层，所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；

所述压电振动器还包括设置在所述绝缘层远离所述压电元件一侧的走线层，所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第三电极连接。

11.一种压电振动器的制作方法，其特征在于，包括：

在衬底上形成多个第一电极；

在每个所述第一电极上形成第二电极；每个所述第二电极具有暴露出所述第一电极的开口；

在每个所述第一电极和对应的所述第二电极上形成压电结构；

其中，所述压电结构包括第一压电部和围绕所述第一压电部设置的第二压电部，所述第一压电部设置在所述开口内并与所述第一电极接触，所述第二压电部设置在所述第二电极远离所述第一电极的一侧；所述第二压电部具有取向性。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，在所述在每个所述第一电极和对应的所述第