CN114236687A 光学谐振腔及其制作方法 （武汉光谷信息光电子创新中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114236687A

(43)申请公布日2022.03.25

(21)申请号202111588732.3

(22)申请日2021.12.23

(71)申请人武汉光谷信息光电子创新中心有限公司

地址430074湖北省武汉市东湖新技术开

发区关山街邮科院路88号1幢1-3层申请人武汉邮电科学研究院有限公司

(72)发明人王乾圣王磊肖希

(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司11270

代理人徐雯蒋雅洁

(51)Int.CI.

GO2BGO2B

GO2B

6/122(2006.01)

6/125(2006.01)

6/13(2006.01)

权利要求书2页说明书10页

附图3页

(54)发明名称

光学谐振腔及其制作方法

(57)摘要

CN114236687A本公开实施例公开了一种光学谐振腔及其制作方法。所述光学谐振腔包括：条形波导，用于传输光信号；环形波导，与所述条形波导并列设置，用于将所述条形波导中满足预设条件的光信号耦合至所述环形波导内，并为耦合至所述环形波导内的光信号的传输提供循环路径；其中，在沿所述循环路径传输的过程中，所述环形波导内的部分光信号耦合至所述条形波导中；反射元件，与所述条形波导的端部连接，用于将接收的来自所述条形波导的至少部分光信号反射以形成反射光信号；所述环形波导，还用于将所述反

CN114236687A

100

100

110a110b

CN114236687A权利要求书1/2页

2

1.一种光学谐振腔，其特征在于，包括：

条形波导，用于传输光信号；

环形波导，与所述条形波导并列设置，用于将所述条形波导中满足预设条件的光信号耦合至所述环形波导内，并为耦合至所述环形波导内的光信号的传输提供循环路径；其中，在沿所述循环路径传输的过程中，所述环形波导内的部分光信号耦合至所述条形波导中；

反射元件，与所述条形波导的端部连接，用于将接收的来自所述条形波导的至少部分光信号反射以形成反射光信号；

所述环形波导，还用于将所述反射光信号中满足所述预设条件的光信号耦合至所述环形波导内。

2.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，

所述环形波导包括：连通的第一波导区域和第二波导区域；其中，所述第一波导区域的环宽小于所述第二波导区域的环宽，所述第一波导区域相对靠近所述条形波导；

所述第一波导区域，具体用于耦合所述条形波导中满足所述预设条件的光信号，并将来自所述第二波导区域且未耦合至所述条形波导中的光信号再次传输至所述第二波导区域；

所述第一波导区域，具体还用于将来自所述第二波导区域的部分光信号耦合至所述条形波导中。

3.根据权利要求2所述的光学谐振腔，其特征在于，所述反射元件用于将接收的来自所述条形波导的至少部分光信号反射以形成反射光信号，包括：

所述反射元件，用于将未耦合至所述环形波导内的至少部分光信号和从所述第一波导区域耦合至所述条形波导中的至少部分光信号反射，以形成所述反射光信号。

4.根据权利要求2所述的光学谐振腔，其特征在于，所述环形波导包括：外环和内环；所述内环的半径小于所述外环的半径；

所述外环的圆心与所述内环的圆心在平行于所述环形波导的平面内未重合。

5.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述条形波导包括：第一端部和第二端部；所述反射元件，包括：

第一子反射元件，与所述第一端部连接；

和/或，

第二子反射元件，与所述第二端部连接。

6.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述条形波导沿第一方向延伸；

所述条形波导和所述环形波导沿第二方向并列设置；其中，所述条形波导和所述环形波导位于基底之上，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第二方向和所述第一方向平行于所述基底所在的平面；

或，

所述条形波导和所述环形波导沿第三方向并列设置；其中，所述条形波导位于基底和所述环形波导之间；所述第一方向平行于所述基底所在的平面，所述第三方向垂直于所述基底所在的平面。

7.一种光学谐振腔的制作方法，其特征在于，包括：

形成条形波导；其中，所述条形波导用于传输光信号；

CN114236687A权利要求书2/2页

3

形成环形波导；其中，所述