CN111036155B 一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法与装置 （深圳大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN111036155B公告日2022.02.15

(21)申请号201911286500.5

(22)申请日2019.12.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111036155A

(43)申请公布日2020.04.21

(73)专利权人深圳大学

地址518060广东省深圳市南山区南海大

道3688号

(72)发明人尹金德闫培光周泽文陈浩于洋阮双琛

(74)专利代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所12201

代理人李素兰

(51)Int.CI.

B01J13/02(2006.01)

B01J13/04(2006.01)

(56)对比文件

CN110471008A,2019.11.19

CN102890309A,2013.01.23

CN103424359A,2013.12.04

CN104409561A,2015.03.11

CNA,1986.07.30

US2011277540A1,2011.11.17

审查员李秀帆

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法与

装置

(57)摘要

CN111036155B本发明公开了一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法和装置，该装置包括加热系统和加压系统两部分；其中，所述加热系统包括Ω型加热环(2)和控制电源(4),为空心石英光纤(1)提供900-1000℃的高温均匀加热；所述加压系统包括配气室(6)、氮气罐(8)和真空泵(13),为空心石英光纤(1)内部提供200-300kPa恒定气压；采用全角度非接触均匀辐射加热成型法，沿着空心光纤圆周方向非接触辐射均匀加热到熔融状态，同步在空心光纤内部施加气压，光纤外壁在内外压差作用下逐步膨胀成型，制备出高质量空心微球谐振腔。本发明制备的空心微球谐振腔具有超薄壁、高圆度、低偏心度的优点，在高灵敏度折射率

CN111036155B

CN111036155B权利要求书1/1页

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1.一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法，其特征在于，该方法基于超薄壁空心微球光谐振腔制作装置实现，所述超薄壁空心微球光谐振腔制作装置包括加热系统和加压系统两部分，其中，所述加热系统包括Ω型加热环(2)和控制电源(4),为空心石英光纤(1)提供900-1000℃的高温均匀加热；所述加压系统包括配气室(6)、氮气罐(8)和真空泵(13),为空心石英光纤(1)内部提供200-300kPa恒定气压；所述配气室(6)通过放气阀(9)与所述真空泵(13)相连通，所述氮气罐(8)通过气管(10)与所述配气室(6)连通，配气室(6)上安装气压表(7)监控舱内气压大小；待制备的空心石英光纤(1)与配气室(6)密封连通，所述氮气罐(8)罐口处设置有氮气罐开关阀(11)与氮气罐减压阀(12),通过所述氮气罐开关阀(11)与所述氮气罐减压阀(12)将氮气输送到配气室(6),所述空心石英光纤(1)处于所述Ω型加热环(2)中心位置；该方法包括以下步骤：

步骤一、内径为50~80μm、外径为120~200μm的空心石英光纤(1)一端制作熔融密封球(3)、另一端采用光纤密闭连接器(5),将空心石英光纤(1)与配气室(6)密封连通；

步骤二、加压过程，具体为：将配气室(6)和空心石英光纤(1)内的空气抽出；调节设置于氮气罐(8)罐口处的氮气罐开关阀(11)与氮气罐减压阀(12),将氮气输送到配气室(6),平衡配气室(6)内的进出气压，达到设定的氮气恒压范围200~300kPa,通过光纤密闭连接器(5)将配气室(6)内氮气气压输入到空心石英光纤(1)内部；

步骤三、加热过程，具体为：将空心石英光纤(1)外层包裹的涂覆层(14)祛除一小段之后，用酒精擦拭干净，对空心石英光纤(1)内部施加氮气压力后，采用Ω型加热环(2)为空心石英光纤(1)沿圆周方向均匀加热；通过控制电源(4)调控Ω型加热环(2)两端施加的电压大小，精确调节加热温度；最终，使空心微球壁厚达到2μm以下，完成薄壁微球谐振腔(15)的制备。

2.如权利要求1所述的一种超薄壁空心微球光谐振腔制作方法，其特征在于，该方法还通过调控氮气恒压的大小、Ω型加热环(2两端施加的电压和加热时间长度，实现薄壁微球谐振腔(15)