CN109759388B 一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法 （国网四川省电力公司经济技术研究院）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN109759388B公告日2020.06.23

(21)申请号201910085887.1

(22)申请日2019.01.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN109759388A

(43)申请公布日2019.05.17

(51)Int.CI.

B08B3/10(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

审查员石夫雨

(73)专利权人国网四川省电力公司经济技术研

究院

地址610000四川省成都市高新区蜀绣西

路366号

(72)发明人罗劲瑭陈一鸣姚实颖李均华苟继军高栋梁周惟婧祝和春余葭苇骆韬锐

(74)专利代理机构成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220

代理人伍星

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法

(57)摘要

CN109759388B本发明公开了一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法，包括光谱分析仪和环形器，光谱分析仪和环形器之间设有两条前段单模光纤，其中一条前段单模光纤上设有衰减器，另一条前段单模光纤上设有放大器，环形器上还设有后段单模光纤，后段单模光纤上设有依次设有位移台和光纤探头。本发明提供的可调控气泡清洁和检测系统，工作元件为光纤探头，易弯曲、移动；由于光纤良好的可塑性，产生气泡的光纤锥尺寸可足够小，有利于深入到装置内部，实现任意位置的定点清洁；利用液体中的气泡实现清洁功能，不会对待清洁物体造成机械损伤；可同时

CN109759388B

高。

CN109759388B权利要求书1/1页

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1.一种光纤探头式清洁和检测系统的使用方法，包括光谱分析仪(1)和环形器(4),所述光谱分析仪(1)和环形器(4)之间设有两条前段单模光纤(5),其中一条前段单模光纤(5)上设有衰减器(2),另一条前段单模光纤(5)上设有放大器(3),所述环形器(4)上还设有后段单模光纤(6),后段单模光纤(6)上依次设有位移台(9)和光纤探头(10),所述光谱分析仪(1)包括激光器(7)和光谱仪(8),激光器(7)与放大器(3)所在的前段单模光纤(5)连接，光谱仪(8)与衰减器(2)所在的前段单模光纤(5)连接，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1:将待清洁面浸没在液体中，调节位移台(9),使光纤探头(10)端面与待清洁面平行，相距24-150μm;

步骤2:打开激光器(7),调节位移台(9),使光纤探头(10)移动，观察光谱仪(8)上干涉信号：若干涉信号光滑，表明光纤正对位置待清洁面光滑；若干涉信号不光滑，表明光纤正对位置待清洁面有杂质，固定位移台(9);

步骤3:缓慢调节放大器(3),使光功率逐渐增大，直至光纤端面不断有气泡产生，系统进入整体清洁模式，通过调节光功率可控制气泡的产生速率，气泡产生越快，整体清洁效率越高；

步骤4:缓慢调节放大器(3),使光功率逐渐降低，观察光谱仪(8),当光谱仪(8)产生的正弦信号对比度增大，表明光纤探头(10)与待清洁面之间仅存在一个气泡，系统进入局部清洁模式，调节位移台，使光纤探头(10)前后移动，利用光纤探头(10)上的气泡点触待清洁面；当光谱仪(8)上显示光滑的干涉信号，表明气泡接触区域洁净度良好，完成该点清洁；

步骤5:重复步骤1-4,进行其他位置的清洁与检测。

CN109759388B说明书1/4页

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一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法

技术领域

[0001]本发明涉及微加工制造技术领域，具体涉及一种光纤探头式清洁、检测系统及其制作和使用方法。

背景技术

[0002]21世纪以来，随着智能时代的到来，电子、信息、医学等诸多领域涉及到越来越多的微型、精密器件及技术手段，仪器内部洁净度、加工材料表面光滑度等清洁问题在其中发挥着至关重要的作用。仪器内部洁净度降低，直接影响仪器的性能、稳定性以及使用寿命，甚至会产生安全隐患。在微加工领域中，表面洁净度影响加工质量。在半导体工业中，表面洁净度低会导致芯片失效，造成的损失远超制造环节的纰漏；在光学加工中，光学基片不