CN110398508A 镶嵌样品ebsd检测用样品台、制作方法及检测装置 （山东省分析测试中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN110398508A布日2019.11.01

(21)申请号201910604284.8

(22)申请日2019.07.05

(71)申请人山东省分析测试中心

地址250014山东省济南市历下区科院路

19号

(72)发明人郭卫民丁宁刘珑田力男侯男李囡

(74)专利代理机构济南圣达知识产权代理有限公司37221

代理人张庆骞

(51)Int.CI.

GO1N23/20025(2018.01)

GO1N23/20016(2018.01)

GO1N23/203(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

镶嵌样品EBSD检测用样品台、制作方法及检

测装置

(57)摘要

CN110398508A本公开提供了一种镶嵌样品EBSD检测用样品台、制作方法及检测装置。其中，镶嵌样品EBSD检测用样品台，包括：定位台，所述定位台上设置有定位凹槽，所述定位凹槽上方设置有夹具，所述夹具内设置有内腔，所述内腔底部设置有调节面板，所述调节面板的一端与调节杆相连；所述内腔放置镶嵌样品块，所述内腔与定位凹槽相对设置，所述内腔的直径大于定位凹槽的直径；所述调节杆穿过夹具底部，用于调整调节面板的高度，使调节面板与镶嵌样品块顶面相接触，镶嵌

CN110398508A

CN110398508A权利要求书1/2页

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1.一种镶嵌样品EBSD检测用样品台，其特征在于，包括：

定位台，所述定位台上设置有定位凹槽，所述定位凹槽上方设置有夹具，所述夹具内设置有内腔，所述内腔底部设置有调节面板，所述调节面板的一端与调节杆相连；所述内腔放置镶嵌样品块，所述内腔与定位凹槽相对设置，所述内腔的直径大于定位凹槽的直径；所述调节杆穿过夹具底部，用于调整调节面板的高度，使调节面板与镶嵌样品块顶面相接触，镶嵌样品块底面与夹具的下边缘相平齐；所述夹具上还连接有与镶嵌样品块底面呈70度夹具的支座。

2.如权利要求1所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台，其特征在于，所述内腔上还设置有若干个定位孔，所述定位孔内设置有定位螺钉，所述定位螺钉用于固定镶嵌样品块，以避免镶嵌样品块从内腔中滑落。

3.如权利要求1所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台，其特征在于，当EBSD检测时，所述支座固定在立柱上，使得镶嵌样品块底面成为待检测面，保证了待检测面与水平面呈70度夹角。

4.如权利要求3所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台，其特征在于，所述支座包括支撑部和卡接部，所述卡接部为沿支撑部底部向外延伸的凸起，该凸起与立柱顶部开设的凹口相匹配连接。

5.如权利要求1所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台，其特征在于，所述穿过夹具的调节杆一端还设置有调节螺帽。

6.如权利要求1所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台，其特征在于，所述调节面板与调节杆为一体结构。

7.一种如权利要求1-6中任一项所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台的制作方法，其特征在于，包括：

制作镶嵌样品块，镶嵌样品块上设置有可导电的镶嵌粉，镶嵌样品块的直径小于夹具内腔直径，样品块的宽度小于夹具内腔宽度，嵌样品块的高度小于内腔深度；

选择小于镶嵌样品块直径的定位凹槽，将镶嵌样品块的待检测面悬空于定位凹槽上，以防止镶嵌样品块表面被破坏；

将夹具的内腔开口朝下套在镶嵌样品块上，此时夹具的下边缘与镶嵌样品块的下表面平齐；

调整调节面板的高度，直至调节面板与镶嵌样品块接触；

使夹具与定位台紧密接触，利用定位螺钉固定镶嵌样品块，以避免镶嵌样品块从内腔中滑落。

8.如权利要求7所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台的制作方法，其特征在于，所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台的制作方法，还包括：

将夹具的底座固定在立柱上，进行EBSD检测。

9.如权利要求7所述的镶嵌样品EBSD检测用样品台的制作方法，其特征在于，制作镶嵌的镶嵌样品块的过程包括：

将尺寸符合内腔要求的样品块的底面进行粗磨、细磨和抛光处理，再进行振动抛光，去除样品表面的应变层；

将去除表面应变层的镶嵌样品块的底面作为待检测面朝下放在定位台上。

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10.一