硅片多线切割机张力控制方法研究与探讨.pdfVIP

机械工程师

ENGINEER

MECHANICAL

硅片多线切割机张力控制方法研究与探讨

郑小军。肖俊建，吴军

(衢州学院机械工程学院，浙江衢州324000)

摘要：多线切割技术是目前硅片切割加工中广泛采用的技术，而切割机床走丝系统的张力控制对硅片的加工质量有重

要影响。文中对切割线张力的特点和控制要求、常见的张力控制方式以及采用伺服电机控制的张力控制系统等问题进行

了研究与探讨。

关键词：多线切割j张力控制方法；硅片加工

305文章编号：1002—2333(2016)05-0090—03

中图分类号：TN文献标志码：A

Hz以上，这就要求张力控制系统具有

0引言带宽度能达到500