CN1632697A 一种柔性光学传感器的制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200410061274.8

[51]Int.Cl?

G03F7/20

G01B11/00

[43]公开日2005年6月29日[11]公开号CN1632697A

[22]申请日2004.12.6

[21]申请号200410061274.8

[71]申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

[72]发明人陈四海柯才军周宏向思桦潘峰赖建军赵悦易新建

[74]专利代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青

权利要求书1页说明书5页附图2页

[54]发明名称一种柔性光学传感器的制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法，步骤为：①光刻成形；②热熔；③离子刻蚀；④淀积保护层；⑤在正面淀积一层Cr或Al金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；⑥在背面深刻蚀硅，直至硅底减薄至60-80μm,形成硅岛结构，最后再涂覆聚酰亚胺，并固化，即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度，且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力，在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。

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知识产权出版社出版

200410061274.8权利要求书第1/1页

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1、一种柔性光学传感器的制作方法，其步骤包括：

(1).光刻成形：选用双面抛光的硅片作为基片，清洗后烘干，采用旋涂法涂正性光刻胶，前烘、曝光、显影后，用去离子水清洗，坚膜，使胶膜受热后聚合，形成立方体状浮雕结构；

(2).热熔：将样片放入退火炉内恒温区的中部进行退火处理，退火腔内充入氩气，并使热熔温度与光刻胶的软化温度之差小于等于20℃;

(3).离子刻蚀：采用反应离子刻蚀机或离子束刻蚀机，对热熔后的基片进行刻蚀，将光刻胶图形转移到衬底上；

(4).淀积保护层：在硅衬底背面淀积一层氮化硅作为保护层；双面对准光刻，露出要刻蚀的Si;

(5).在正面淀积一层Cr或A1金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；

(6).在背面深刻蚀硅，直至硅底减薄至60-80μm,形成硅岛结构，最后再涂覆聚酰亚胺，并固化，即得到所需的柔性光学传感器。

200410061274.8说明书第1/5页

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一种柔性光学传感器的制作方法

技术领域

本发明属于传感器制作技术领域，具体涉及一种柔性光学传感器的制作方法。

背景技术

众所周知，在生物界各种传感器基本上都是柔性的，可以分布在各种曲面上，如人体的触觉传感器，一些昆虫的视觉传感器。在工业界，人们也研制了许多传感器，能够完成一定的功能，但这些传感器基本上都是在刚性衬底上制作，只能用在平面上，不能弯曲，与生物界的传感器相比，其应用受到了很大的局限。在实际应用中，许多情况下需要将微型传感器贴于非平面上，如人的手指、手臂、飞机的机翼和机器人的眼睛等，这就使得一种新型的传感器应运而生，该传感器基于柔性衬底，能够折叠或卷曲，容易粘附在任意非平面上，被称之为柔性传感器。由于结构的特殊，柔性传感器具有一般传感器更为广泛的应用前景，如在军事、生物医学和机器人等方面都迫切需要这种使用简单、封装方便的传感器。目前，仅有国外有些机构开展了这方面的研究工作，如UCLA和Caltech等大学研制了一种传感器，可以贴在无人驾驶飞机机翼上，用于测量温度、压力等参数。由于飞机机翼尖的形状为近似圆柱状，要求这种柔性传感器可以沿着180度的角度卷曲。这种传感器主要是在柔性衬底，如塑料、聚合物上加工而成的。在国内，也有少数人开展了一些研究，但主要的研究方向是在柔性衬底上淀积一些膜层，没有制作出真正的柔性传感器。

发明内容

本发明目的在于提供一种仿生柔性光学传感器的制作方法。该方法所制作的光学传感器兼具较好的柔性和强度，不仅体积微型化，而且适合于

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