CN108225416A 一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法 （北京信息科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108225416A

(43)申请公布日2018.06.29

(21)申请号201711430683.4

(22)申请日2017.12.26

(71)申请人北京信息科技大学

地址100085北京市海淀区清河小营东路

12号北京信息科技大学光电学院

(72)发明人祝连庆李达张雯何巍董明利娄小平李红

(74)专利代理机构北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

11416

代理人顾珊庞立岩

(51)Int.CI.

G01D21/02(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法

(57)摘要

CN108225416A本发明提供一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法包括：a)搭建加工平台，加工平台包括800nm飞秒激光器、高精度三维运动平台、聚焦物镜和高反镜；b)在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI-1060光纤固定在光纤夹具上；飞秒激光依次穿过半波片、偏振片、衰减片和窗口，经高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI-1060光纤，对HI-1060光纤划线刻写，得到光栅周期为400um的长周期光纤光栅；c)重复步骤c)制作腔长为20um的光纤F-P传感器；d)将步骤b)中制作得到长周期光纤光栅与步骤c)中制作得到光纤F-P传感器通过级联的方式组成多参数传感器。

CN108225416A

CN108225416A权利要求书1/1页

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1.一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

a)搭建加工平台，所述加工平台包括800nm飞秒激光器、高精度三维运动平台、聚焦物镜和高反镜；

b)在所述高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI-1060光纤固定在所述光纤夹具上；

在所述光纤夹具正上方布置所述高反镜，在所述高反镜前端依次布置所述800nm飞秒激光器、半波片、偏振片、衰减片和用于激光穿过的窗口，所述800nm飞秒激光器以划线的方式发射飞秒激光，所述飞秒激光依次穿过所述半波片、偏振片、衰减片和窗口，经所述高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI-1060光纤，对所述HI-1060光纤划线刻写，得到光栅周期为400um的长周期光纤光栅；

c)重复步骤c)制作腔长为20um的光纤F-P传感器；

d)将步骤b)中制作得到长周期光纤光栅与步骤c)中制作得到光纤F-P传感器之间熔接隔离器，通过级联的方式组成多参数传感器。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述高反镜正上方布置电荷耦合器件，所述电荷耦合器观测激光的聚焦位置和激光对所述夹具上HI-1060光纤的加工形貌。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述HI-1060光纤介于测试宽带光源与测试光谱分析仪之间，所述HI-1060光纤一端连接所述测试宽带光源，另一端连接所述测试光谱分析仪，所述测试光谱分析仪实时观测所述测试宽带光源发射的测试激光的透射光谱。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述测试宽带光源发射的测试激光的波长范围为1530nm～1610nm。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述测试光谱分析仪的工作波长范围为1200nm～2400nm,最小分辨精度为0.05nm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述HI-1060光纤刻写过程中，控制所述高精度三维运动平台的移动和所述窗口的闭合/开启，制作所述长周期光纤光栅。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述HI-1060光纤的纤芯直径为6.2um,包层直径为125um。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述显微物镜的放大倍数为45倍，数值孔径为0.75。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述光纤夹具的上方和下方分别安装LED照明设备。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述800nm飞秒激光器发射的飞秒激光加工速度为10um/s,功率为50uw。

CN108225416A说明书