CN101825479A 基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101825479A

(43)申请公布日2010.09.08

(21)申请号201010147320.1

(22)申请日2010.04.15

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人龚元饶云江郭宇赵天

(51)Int.CI.

GO1D5/26(2006.01)

GO2B6/00(2006.01)

GO1K11/32(2006.01)

GO1N21/41(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法

(57)摘要

CN101825479A本发明公开了一种基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法，包括以下步骤：采用化学腐蚀或激光微加工技术在渐变折射率多模光纤端面制作一微孔；将带微孔的渐变折射率多模光纤与单模光纤熔接，形成光纤法珀腔结构；切割渐变折射率多模光纤，当其长度满足一定条件时，可实现高性能的光纤法珀传感器。本发明利用渐变折射率多模光纤中的自聚焦效应，降低了光纤法珀腔的损耗，并提高了端面反射率，从而使光纤法珀传感器反射光谱的条纹对比度高达

CN101825479A

CN101825479A权利要求书1/1页

2

1.基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法，包括以下步骤：

①将渐变折射率多模光纤涂覆层剥除，切割使其端面平整，采用微加工技术在光纤端面制作一微孔；

②利用光纤熔接机，将带微孔的渐变折射率多模光纤与切割后的单模光纤熔接，形成

一空气腔结构；

③将渐变折射率多模光纤的另一端切割，构成光纤法珀复合结构传感器。

2.根据权利要求1所述的基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法，其特征在于，步骤①所述的微加工技术包括化学腐蚀方法、飞秒激光微加工技术和准分子激光微加工技术。

3.根据权利要求1所述的基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法，其特征在于，所述步骤②中渐变折射率多模光纤与单模光纤熔接前，采用预放电改善微加工制作的微孔底面，降低其透射和散射损耗。

4.根据权利要求1所述的基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法，其特征在于，所述步骤③中的切割后的渐变折射率多模光纤长度L必须满足L=mp/4,m为正整数，p为渐变折射率多模光纤的节距。

5.根据权利要求1所述的基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法，其特征在于，所述渐变折射率多模光纤纤芯的折射率径向分布满足,n?为纤芯中心最大折射率，△为纤芯和包层的相对折射率差，r。为纤芯半径，α为折射率分布因子。

CN101825479A说明书1/3页

3

基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种光纤传感器，具体涉及一种基于自聚焦效应的光纤法珀复合结构传感器制作方法。

背景技术

[0002]光纤法珀传感器已经在工业、军事等诸多领域被广泛应用于应变、压力、温度、折射率等参数的传感。传统的光纤法珀传感器主要通过在两段单模光纤之间熔接一段空心光纤、或阶跃折射率多模光纤、或空心光子晶体光纤，这样制作的光纤法珀结构端面反射率不高，导致测量灵敏度不高。可采用光纤布拉格光栅和镀膜的方式提高反射率，但前者的带宽窄，后者的机械稳定性不好。

[0003]申请号为200710078516.8,公开号为CN101055197A的中国发明专利“飞秒激光脉冲制作的微型光纤珐珀传感器及制作方法”和申请号为200710088067.5,公开号为CN101034007A的中国发明专利“光纤珐珀传感器及其制作方法”分别公开了利用飞秒激光和准分子激光在光纤上加工微珐珀腔，构成光纤珐珀传感器，用于应变、温度、压力等参数的检测。这一类传感器性能好、重复性高，适合于中高端产品，但加工系统造价高，不适合普及推广，而且加工过程需要掩膜板与光