CN101811822A 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法 （长飞光纤光缆有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101811822A

(43)申请公布日2010.08.25

(21)申请号201010152987.0

(22)申请日2010.04.16

(71)申请人长飞光纤光缆有限公司

地址430073湖北省武汉市武昌关山二路四

号

(72)发明人刘泳涛李震宇韩庆荣童维军龙胜亚

(74)专利代理机构湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102

代理人胡建平

(51)Int.CI.

C03B37/018(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图1页

(54)发明名称

一种PCVD工艺制作大直径光纤芯棒的方法

(57)摘要

本发明涉及一种高沉积速率PCVD工艺制作大直径低水峰光纤芯棒的方法。它包括以下步骤：取外径为36～65毫米的纯石英衬管腐蚀清洗后进行PCVD加工；将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内，微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动，移动速度为15～30米/min,高频功率5.5kW～20.5kW;衬管内沉积速率为2.5~5.0g/min,单层沉积厚度为1.0～3.0微米；沉积完成后通过电热熔缩车床缩塌即得到实心光纤芯棒，芯棒外径为30mm～61mm,包层芯层直径比：1.2≤b/a3.0、芯棒外径与芯层直径的比：

CN101811822A3.8≤c/a6.0。本发明不仅制作工艺简便，沉

CN101811822A

CN101811822A权利要求书1/2页

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1.一种PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于

取外径为36～65毫米，壁厚大于或等于5毫米，长度为1.0～1.9米的纯石英衬管，经过两端延长、腐蚀清洗后，进行PCVD加工；

所述纯石英衬管的羟基含量小于或等于0.5ppm,所述的腐蚀清洗是以AR级氢氟酸试剂(HF含量≥36%)浸泡腐蚀，去掉衬管延长加工时带来的内外表面污染，腐蚀去除量以衬管外径减少量计为0.01mm～0.3mm,腐蚀后的衬管以高纯去离子水冲洗内外表面，再以高纯洁净N2吹扫内外表面进行充分干燥；

将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内，炉内温度：800℃~1200℃,纯石英衬管穿过微波谐振腔，周期性地旋转，微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动，移动速度为15～30米/min,微波谐振腔的高频功率5.5KW～20.5KW;

混合气体从衬管的一端进入管内，混合气体的种类和流量为：四氯化硅蒸气800~2500sccm,四氯化锗蒸气20～150sccm,高纯氧气1600sccm～7000sccm,氟利昂10~100sccm;衬管的另一端是气体排出端，气体排出端连接真空泵，控制衬管内压力在5~30mBar;

衬管内沉积速率为2.5～5.0g/min,单层沉积厚度为1.0～3.0微米；

沉积完成后通过电热熔缩车床缩塌即得到实心光纤芯棒，芯棒外径为30mm～61mm,包层芯层直径比：1.2≤b/a3.0、芯棒外径与芯层直径的比：3.8≤c/a6.0。

2.按权利要求1所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于所述纯石英衬管的羟基含量进一步的要求为小于或等于0.05ppm。

3.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于所述的进入管内的反应原料气体和蒸气，对于标准状态下为气态的高纯氧气和氟利昂，采用大量程的气体质量流量计控制；对于标准状态下为液态的SiCl?和GeCl4,先辅助加热使其产生适量的原料蒸气压，将蒸气导出再用合适的气体流量计控制流量进行供料；通入衬管的原料气体的羟基含量要求小于或等于0.1ppm。

4.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于所述的高纯氧气与四氯化硅的摩尔比被控制在1.8～3.0。

5.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于在保温炉内与衬管平行方向放置主加热棒，在保温炉内的两端和中间再各增加一个控温用辅助加热棒，通过对主加热棒和辅助加热棒的电流电压分别控制，实现对衬管长度方向的温度分段式可调；并且在主加热棒和辅助加热棒外安置陶瓷纤维真空成型块，形成保温隔热区域，对衬管长度方向的温度分布进一步实现准确控制。

6.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于将制得的实心光纤芯棒进行延