CN106383377A 一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法 （西北工业大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106383377A

(43)申请公布日2017.02.08

(21)申请号201610784533.2

(22)申请日2016.08.31

(66)本国优先权数据

201610066067.42016.01.30CN

(71)申请人西北工业大学

地址710072陕西省西安市友谊西路127号

(72)发明人虞益挺朱全发李浩勇

(74)专利代理机构西北工业大学专利中心

61204

代理人吕湘连

(51)Int.CI.

G02B5/28(2006.01)

GO2B26/00(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图8页

(54)发明名称

一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法

(57)摘要

CN106383377A本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微

CN106383377A

CN106383377A权利要求书1/1页

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1.一种电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6;

所述可动镜面支撑4中间的镜面工作平台通过支撑梁13与四周框架连接；所述第一反射镜8制作在第一薄膜支撑7上之后，固定于可动镜面支撑4中间的镜面工作平台；可动镜面支撑4的四周框架上用标准印刷电路板生产工艺制作线圈6,线圈6由并联的多个子线圈组成；线圈6在永磁铁16的磁场中受到力发生扭转，从而驱动可动镜面支撑4的运动；

所述第二反射镜14制作在第二薄膜支撑15上之后，固定于固定镜面支撑2上；

所述第一反射镜8和第二反射镜14形成珐珀腔；

所述的可动镜面支撑4和固定镜面支撑2与箱体1固连；间隔层3控制可动镜面支撑4与固定镜面支撑2之间的间距；

所述盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、箱体1上分别有的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12。

所述的第一反射镜8和第二反射镜14为半透半反膜。

连接可动镜面支撑4中间镜面工作平台与四周框架的支撑梁13根据需要设计成直梁、蟹臂梁、折叠梁等结构，参阅图4。

2.一种如权利要求1所述的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12的形状为正方形、圆形。

3.一种如权利要求1所述的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的永磁体16的形状为长方体、正方体等。

4.一种如权利要求1所述的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的制作工艺，其特征在于，包括如下基本步骤：

步骤1:首先用标准印刷电路板生产工艺在基板上制作线圈6,之后在基板上加工出支撑梁13、通光孔10,得到可动镜面支撑4;

步骤2:在第一薄膜支撑7上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第一反射镜8;

步骤3:把第一薄膜支撑7用粘接工艺固定到可动镜面支撑4的中间的镜面工作平台相应部位；

步骤4:在第二薄膜支撑15上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第二反射镜14;

步骤5:在基板上制出通光孔11,得到固定镜面支撑2;

步骤6:把第二薄膜支撑15用粘接工艺固定到固定镜面支撑2的相应部位上；

步骤7:在金属或者工程塑料上加工通光孔12等、槽结构，成为箱体1;

步骤8:在金属或者工程塑料上加工通光孔9、槽结构，成为盖板5;

步骤9:把装配好的固定镜面支撑2用粘接工艺固定到箱体1上，第二反射镜14朝上；

步骤10:把间隔层3用粘接工艺固定到箱体1的特定位置；

步骤11:将装配好的可动镜面支撑4用粘接工艺固定到间隔层3上，第一