CN105549199B 电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法 （西北工业大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105549199B公告日2017.11.24

(21)申请号201610065383.X

(22)申请日2016.01.30

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105549199A

(43)申请公布日2016.05.04

(73)专利权人西北工业大学

地址710072陕西省西安市友谊西路127号

(72)发明人虞益挺李浩勇朱全发

(74)专利代理机构西北工业大学专利中心

61204

代理人吕湘连

(51)Int.CI.

GO2B26/08(2006.01)

G02B26/00(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

B81C3/00(2006.01)

审查员陈俊

权利要求书2页说明书8页附图6页

(54)发明名称

电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法

(57)摘要

CN105549199B本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干