CN103854998A 内透明集电极绝缘栅双极晶体管及其制作方法 （江苏物联网研究发展中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103854998A

(43)申请公布日2014.06.11

(21)申请号201210519402.3

(22)申请日2012.12.06

(71)申请人江苏物联网研究发展中心

地址214135江苏省无锡市新区菱湖大道

200号中国传感网国际创新园C座申请人中国科学院微电子研究所

江苏中科君芯科技有限公司

(72)发明人朱阳军吴振兴田晓丽卢烁今

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人王宝筠

(51)Int.CI.

HO1L21/331(2006.01)

HO1L29/739(2006.01)

HO1L29/15(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

内透明集电极绝缘栅双极晶体管及其制作方法

S1提供一重掺杂衬底

S1

提供一重掺杂衬底

S2

采用分子束外延工艺形成GeSi/Si多量子阱应变超晶格层

在所述GeSi/Si多量子阱应变超晶格层表面上形成轻掺杂层

CN103854998A一种内透明集电极绝缘栅双极晶体管及其制作方