CN103791927A 自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103791927A

(43)申请公布日2014.05.14

(21)申请号201310559783.2

(22)申请日2013.11.12

(71)申请人国家纳米科学中心

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

(72)发明人周瑜升朱光王中林

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021

代理人宋焰琴

(51)Int.CI.

G01DG01BGO1P

5/14(2006.01)7/02(2006.01)3/52(2006.01)

权利要求书4页说明书10页附图6页

(54)发明名称

自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法

(57)摘要

CN103791927A本发明提供一种自驱动位移与速度传感方法、传感器以及传感器的制备方法。传感器包括两个相对滑动的部件，各部件均包括基底、栅格结构、导电层以及摩擦层。工作时，被测物体与其中一个部件固定，两个部件在摩擦层接触，表面由于接触起电效应发生电荷转移，被测物体的位移带动两摩擦层发生相对位移致使周围电场发生变化，两个导电层之间产生电势差并且周期性变化。通过测量导电层之间电压变化的周期