CN104637995A 一种介质隔离与结隔离相结合的ligbt器件及制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104637995A

(43)申请公布日2015.05.20

(21)申请号201510077083.9

(22)申请日2015.02.12

(71)申请人南京邮电大学

地址210003江苏省南京市鼓楼区新模范马

路66号

(72)发明人刘雪松成建兵俞露露陈旭东郭厚东滕国兵

(74)专利代理机构南京知识律师事务所32207代理人汪旭东

(51)Int.CI.

HO1L29/739(2006.01)

HO1L29/06(2006.01)

HO1L21/331(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种介质隔离与结隔离相结合的LIGBT器件及制作方法

12栅吸

12

栅吸

楼

F集区

德移区

埋氧医

村底

极

CN104637995A本发明涉及一种介质隔离与结隔离相结合的LIGBT器件及制造方法，属于电子技术领域。该LIGBT器件将常规短路LIGBT的阳极区采用介质隔离与结隔离相结合的结构：阳极N+和P+之间用介质隔离，N+下面采用结隔离。这种新型的介质隔离