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CN119400742A 一种快速热处理机台的温度确定方法 （粤芯半导体技术股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-17 发布于山西
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CN119400742A 一种快速热处理机台的温度确定方法 （粤芯半导体技术股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119400742A

    (43)申请公布日2025.02.07

    (21)申请号202510012675.6

    (22)申请日2025.01.06

    (71)申请人粤芯半导体技术股份有限公司

    地址510700广东省广州市黄埔区凤凰五

    路28号

    (72)发明人李世韦欧阳文森李成龙王胜林

    (74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

    有限公司11463

    专利代理师高燕

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/66(2006.01)

    权利要求书2页说明

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