ASTM D7980-20 中文版 半导体行业超纯水系统设计的标准指南.docxVIP

ASTMD7980-20中文版半导体行业超纯水系统设计的标准指南

1.前言

本指南是对ASTMD7980标准2020年修订版的中文翻译与规范梳理，旨在为半导体行业超纯水（Ultra-PureWater,UPW）系统的设计、选型、安装、调试及初期验证提供统一、科学、可操作的标准依据。本指南规定了半导体行业超纯水系统设计的核心原则、水质目标、系统架构、单元设备选型、材质要求、管路设计、仪表监测、安全设计及验证要求等全部内容，适用于半导体晶圆制造、半导体器件封装测试、半导体材料生产等各类半导体相关领域的超纯水系统设计，涵盖从原水预处理到超纯水输送的全流程，可作为系统设计、工程施工、质量验收及运行维护的核心参考依据。

本指南基于ASTM国际组织发布的原版标准ASTMD7980-20，严格遵循原版标准的核心要求与技术规范，同时结合中国半导体行业的发展现状、生产工艺需求及国内设备选型特点，补充了适配国内行业场景的设计细节、材质替代方案及合规性要求，确保指南的科学性、权威性与实用性。本指南仅适用于半导体行业专用超纯水系统的设计，不适用于其他行业（如制药、食品、核工业）的高纯水系统设计；若系统涉及法规合规监测与验收，需结合相关国家、行业法规及ASTM配套标准一同使用。

与ASTMD7980先前版本相比，本版指南重点优化了超纯水水质指标要求、EDI（电去离子）系统设计参数、TOC