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- 2026-05-06 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119495584A
(43)申请公布日2025.02.21
(21)申请号202311030766.X
(22)申请日2023.08.15
(71)申请人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
地址100176北京市大兴区经济技术开发
区文昌大道18号
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限
公司
(72)发明人单立冬仝海跃
(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
公司11227
专利代理师吴敏
(51)Int.Cl.
H01L21/66(2006.01)
H01L21/268(
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