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多层膜结构声表面波器件的研究进展的文献综述

国内外动态：

2020李良秋，董志贵在声表面波谐振器设计与仿真中设计了Cu电极/ScAlN薄膜SAW谐振器，通过仿真发现当Sc浓度为20%左右，理论上实现的机电耦合系数约为3%，距离理论目标9%预期较远，但随着电极及Sc浓度的调整，耦合系数在增加。电极材料对耦合系数影响较位明显，为了增加电极的粘致性，一般不采用单一电极。

2020张永威、郭涛谭、秋林、张利威基于ＣＯＭＳＯＬ的声表面波器件三维结构仿真讨论了不同电极材料、不同厚度对其反对称模态频率和对称模态频率的影响，随着电极金属的厚度、电极声阻抗及能量损失的增大，反对称模态频率和对称模态频率都呈减小趋势，对于不同的电极材料，反对称模态频率和对称模态频率都不相同，电极材料的质量密度是影响反对称模态频率和对称模态频率的主要原因；同时也讨论了电材料厚膜比对传感器寄生谐振的影响，在阻抗－频率曲线最平滑，寄生谐振几乎完全消除时的电极材料厚膜比可认定该电极材料的最佳厚度选择。

2020喻恒、林超、唐涛、冉仁杰、黄山在不同切向衬底的声表面波传播特性仿真中基于Bond矩阵旋转变换的方式，计算得到LGS晶体不同切向的弹性矩阵参数，耦合矩阵参数，相对介电常数矩阵参数，并利用COMSOL软件仿真LGS晶体不同切向上的SAW的传播特性，仿真结果与已有